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FPSEM-STE-RTP150 晶圓真空氧化退火熱處理系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 孚光精儀
- 型號 FPSEM-STE-RTP150
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/pvd.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/12/16 11:13:09
- 訪問次數(shù) 657
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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這款半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)是為半導(dǎo)體晶圓在可控氣體、真空、氧化或還原氣氛中的晶圓高溫處理系統(tǒng),可對晶圓真空退火,氧氣退火處理。
鋁室的特殊設(shè)計允許在*溫度(高達(dá)1300°С)下進(jìn)行熱退火,并結(jié)合長時間退火(高達(dá)60分鐘)。
該半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)既可用于研發(fā)活動,也可用于中試生產(chǎn)。加工后的晶圓最大直徑為150mm。
半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)之一是加熱器和反應(yīng)器加熱晶片分離。加熱器由位于反應(yīng)器外部的鹵素?zé)艚M成,通過工藝室中的石英窗口加熱石墨工作臺。這種加熱器允許進(jìn)行最高溫度高達(dá)1300°С、加熱速率高達(dá)150°С/秒的工藝。水冷鋁室允許進(jìn)行長期退火。反應(yīng)器可在工藝氣體排氣后進(jìn)行初步泵送。
半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)特色
•帶水冷的鋁制工藝室
•帶空氣冷卻的鹵素?zé)艏訜嵫b置
•通過膜或可選渦旋泵對工藝室進(jìn)行初步泵送
•泵送和氣體吹掃的自動化,允許通過?一鍵按下?執(zhí)行過程
•內(nèi)置PID控制器的多級過程
•光學(xué)高溫計,用于額外的溫度控制(可選),光學(xué)進(jìn)入150 mm晶圓的中心和邊緣
•工作臺溫度由兩個熱電偶控制
•易于操作和維護(hù)
半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)可訂購型號
•真空熱退火
•在受控氣體環(huán)境中進(jìn)行熱退火,并用惰性氣體持續(xù)吹掃試驗(yàn)箱
•在自動保壓的受控氣體氣氛中進(jìn)行熱退火
半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
工藝過程反應(yīng)器中的極限壓力:<10Torr (可選<5×10
-7)
泵浦速率: 5 m^3/h
反應(yīng)器壁水冷: 是的
最大晶圓直徑:150mm
最大加熱速率:200℃/s (不帶電極夾具)
最大加熱速率:50℃/s (帶電極夾具)
最大加熱溫度:1300℃
熱均勻性@100mm直徑: +/-1(<500攝氏度), +/-2(<1300℃)
真空退火:標(biāo)配
氧氣退火: 標(biāo)配
自動化退貨:標(biāo)配