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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備>其它光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備>FPSEM-STE-RTP150 晶圓真空氧化退火熱處理系統(tǒng)

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FPSEM-STE-RTP150 晶圓真空氧化退火熱處理系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 孚光精儀
  • 型號 FPSEM-STE-RTP150
  • 產(chǎn)地 www.felles.cn/pvd.html
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/12/16 11:13:09
  • 訪問次數(shù) 657

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


孚光精儀是進(jìn)口精密儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進(jìn)口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進(jìn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀(jì)是光學(xué)世紀(jì),激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進(jìn)生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和先進(jìn)制造*的分析,計量,測試和實(shí)驗(yàn)工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實(shí)驗(yàn)技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學(xué)為特色的進(jìn)口儀器和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備公司,擁有齊全的進(jìn)口精密(光學(xué))儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進(jìn)口分析測試技術(shù)儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學(xué)/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學(xué),致力于光學(xué)精密儀器事業(yè)。


公司價值
孚光精儀-精通光學(xué),服務(wù)科學(xué)

經(jīng)驗(yàn)豐富的激光和光學(xué)技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認(rèn)適合應(yīng)用的精密

光學(xué)儀器和科學(xué)儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進(jìn)口體驗(yàn)。
以豐富的進(jìn)口操作經(jīng)驗(yàn)和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進(jìn)口和購置服務(wù)!
齊全的光學(xué)種類
涵蓋了所有光學(xué)和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學(xué)成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學(xué)儀器)

分子生物學(xué)

光學(xué)儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學(xué)儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測試儀器

光學(xué)成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學(xué)檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學(xué)內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學(xué)顯微鏡

通用

實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學(xué)技術(shù)的實(shí)驗(yàn)儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學(xué)

生命科學(xué)

醫(yī)學(xué)成像

制藥

食品工程

化學(xué)和化工

 

實(shí)驗(yàn)室儀器實(shí)驗(yàn)室建設(shè)

流體力學(xué)

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動機(jī)研發(fā)

航空航天

地球物理科學(xué)

地質(zhì)和石油勘探


半導(dǎo)體和微電子

 

 

 

 

 

先進(jìn)制造

新能源

材料科學(xué)

儀器科學(xué)與技術(shù)

-------


客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國國有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應(yīng)商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進(jìn)口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進(jìn)口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進(jìn)口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關(guān),進(jìn)出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進(jìn)口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來華辦公指導(dǎo)                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽(yù)*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
*上海光機(jī)所

*西安光機(jī)所

*安徽光機(jī)所

*長春光機(jī)所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國電子集團(tuán)公司53

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中國科技大學(xué)


哈爾濱工業(yè)大學(xué)
山東大學(xué)
武漢大學(xué)
南開大學(xué)

天津大學(xué)


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飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子

這款半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)是為半導(dǎo)體晶圓在可控氣體、真空、氧化或還原氣氛中的晶圓高溫處理系統(tǒng),可對晶圓真空退火,氧氣退火處理。

鋁室的特殊設(shè)計允許在*溫度(高達(dá)1300°С)下進(jìn)行熱退火,并結(jié)合長時間退火(高達(dá)60分鐘)。


半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)既可用于研發(fā)活動,也可用于中試生產(chǎn)。加工后的晶圓最大直徑為150mm。
半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)之一是加熱器和反應(yīng)器加熱晶片分離。加熱器由位于反應(yīng)器外部的鹵素?zé)艚M成,通過工藝室中的石英窗口加熱石墨工作臺。這種加熱器允許進(jìn)行最高溫度高達(dá)1300°С、加熱速率高達(dá)150°С/秒的工藝。水冷鋁室允許進(jìn)行長期退火。反應(yīng)器可在工藝氣體排氣后進(jìn)行初步泵送。
晶圓真空氧化退火熱處理系統(tǒng)
半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)特色

•帶水冷的鋁制工藝室

•帶空氣冷卻的鹵素?zé)艏訜嵫b置

•通過膜或可選渦旋泵對工藝室進(jìn)行初步泵送

•泵送和氣體吹掃的自動化,允許通過?一鍵按下?執(zhí)行過程

•內(nèi)置PID控制器的多級過程

•光學(xué)高溫計,用于額外的溫度控制(可選),光學(xué)進(jìn)入150 mm晶圓的中心和邊緣

•工作臺溫度由兩個熱電偶控制

•易于操作和維護(hù)


半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)可訂購型號

•真空熱退火

•在受控氣體環(huán)境中進(jìn)行熱退火,并用惰性氣體持續(xù)吹掃試驗(yàn)箱

•在自動保壓的受控氣體氣氛中進(jìn)行熱退火


半導(dǎo)體晶圓熱處理系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

工藝過程反應(yīng)器中的極限壓力:<10Torr (可選<5×10

-7

泵浦速率: 5    m^3/h

反應(yīng)器壁水冷: 是的

最大晶圓直徑:150mm

最大加熱速率:200℃/s  (不帶電極夾具)

最大加熱速率:50℃/s  (帶電極夾具)

最大加熱溫度:1300℃

熱均勻性@100mm直徑:  +/-1(<500攝氏度), +/-2(<1300℃)

真空退火:標(biāo)配

氧氣退火: 標(biāo)配

自動化退貨:標(biāo)配




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