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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>光學實驗設備>其它光學實驗設備>FPSEM-RTA100 晶圓熱退火爐

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FPSEM-RTA100 晶圓熱退火爐

具體成交價以合同協議為準

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孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等光子技術分析測試儀器的規模性進口商和代理商,服務商。
孚光精儀公司以精密光學技術為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業,為中國客戶提供*分析測試儀器產品,促進光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。

21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發展和技術提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產商群體,和快捷高效的貿易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業。


公司價值
孚光精儀-精通光學,服務科學

經驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密

光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器

熒光光學成像儀器 (包括FRET系統,TIRFM顯微鏡系統, 鈣成像顯微鏡系統,熒光壽命成像系統,生物發光和熒光發光成像系統等生物光子學儀器)

分子生物學

光學儀器( 包括凝聚成像,生物發光和熒光發光成像系統等)

醫用

光學儀器(內窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術的粒度和濃度

測試儀器

光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統 (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 (基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

通用

實驗室儀器和設備(包含所有涉及光學技術的實驗儀器)

服務和應用領域

生物光子學

生命科學

醫學成像

制藥

食品工程

化學和化工

 

實驗室儀器實驗室建設

流體力學

工程熱物理

燃燒診斷分析

發動機研發

航空航天

地球物理科學

地質和石油勘探


半導體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學

儀器科學與技術

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客戶群體
     
高等院校

*系統研究院所

中國國有企業及其研究院所

外資企業


高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿區和天津自貿區具有倉庫,在香港設立貿易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優勢國家和地區。
公司受益于香港便捷的貿易條件以及上海自貿區和天津自貿區的高效進口程序,為客戶提供高效技術儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(天津)貿易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關,進出口等高貿易資質,為客戶提供優質而專業的進口服務,幫助出口商/制造商完成清關服務,并送貨到用戶地址。

 

外方經理定期來華辦公指導                                             工作園區一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務和質優價廉的產品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產品和服務供應商。國內的科研單位多次從我公司訂購各種產品。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質結構研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術研究所
中國電子集團公司53

清華大學

北京大學

中國科技大學


哈爾濱工業大學
山東大學
武漢大學
南開大學

天津大學


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統,激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

應用領域 醫療衛生,化工,生物產業,電子

這款晶圓熱退火爐是半導體晶片惰性氣氛快速熱退火系統,適合晶圓的最大直徑為100mm,晶圓通過上部快速檢修門手動裝入腔室,并放置在熱補償石墨臺上。加熱器系統基于線性鹵素燈,位于爐體下方。這種設計確保了均勻的晶圓加熱,沿晶圓表面具有紅外發射的非均勻吸收(例如,具有成形金屬拓撲結構的晶圓)。
晶圓熱退火爐允許執行相對較短的工藝,溫度高達1000°С,最大加熱速率高達40°С/s。對于與接觸退火無關的應用,系統可在無石墨工作臺的情況下運行,石墨工作臺的加熱速率可提高至200°С/s。最高溫度下的退火時間可達10分鐘。該室由鋁制成,具有集成的水冷100mm石英窗口,用于在退火過程中監測晶片,也可用于安裝可選的光學高溫計。
晶圓熱退火爐
晶圓熱退火爐特點

•帶水冷的鋁制工藝室

•通過膜或渦旋(可選)泵對工藝室進行初步泵送

•晶閘管控制器的加熱功率操作

•自動泵送和氣體凈化室,允許“一鍵式”工藝操作

•內置PID控制器的多級退火過程

•通過兩個控制熱電偶監測加熱臺溫度

•光學高溫計,用于額外控制晶圓表面溫度(可選),可通過石英窗口沿晶圓表面進行X-Y溫度掃描

•高運行間再現性

•易于操作和維護


晶圓熱退火爐規格參數

工藝過程反應器中的極限壓力:<10Torr (可選<5×10

-3

泵浦速率: 5 m^3/h

反應器壁水冷: 是的

最大晶圓直徑:100mm

最大加熱速率:200℃/s  (不帶電極夾具)

最大加熱速率:40℃/s  (帶電極夾具)

最大加熱溫度:1000℃

熱均勻性@100mm直徑: +/-2(<1300℃)

真空退火:無

氧氣退火:無

自動化退火:標配






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