SP200-AT 全自動(dòng)噴膠機(jī)
- 公司名稱(chēng) 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SP200-AT
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/19 13:24:37
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 2462
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紫外可見(jiàn)分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 | 處理晶圓 | 25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動(dòng)mapping |
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電缸有效行程 | 300mm*300mm | 線(xiàn)軌式機(jī)械手自動(dòng)上下片 | 可連續(xù)自動(dòng)化工藝處理 |
最大霧化流量 | 8ml/min,程序可調(diào) | 霧化顆粒直徑 | 30~50um |
溫度均勻性 | ≤±1%(溫度范圍:RT~150℃) | 控溫精度 | ±0.5℃ |
設(shè)備尺寸 | 1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H) |
噴膠機(jī)
適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控
產(chǎn)品參數(shù)
處理晶圓:25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動(dòng)mapping
電缸有效行程:300mm*300mm
線(xiàn)軌式機(jī)械手自動(dòng)上下片,可連續(xù)自動(dòng)化工藝處理
最大霧化流量:8ml/min,程序可調(diào)
霧化顆粒直徑:30~50um
溫度均勻性:≤±1%(溫度范圍:RT~150℃)
控溫精度:±0.5℃
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)