FineSAT Ⅴ 超聲波影像裝置
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海西努光學科技有限公司
- 品牌 Hitachi/日立
- 型號 FineSAT Ⅴ
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/11/29 9:02:30
- 訪問次數 944
產品標簽
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,電子 |
|---|
測定時間最多縮短25%*2通過超聲波高精度、高速檢查半導體、電子零部件
提供利用超聲波的反射、穿透特性非破壞檢測半導體、電子零部件內部的細微結構、缺陷并將其轉換為圖像的裝置——“FineSAT 系列”。
為了應對近年來的需求高度化，強化以往機型“FineSAT Ⅲ”的功能，開發了能進行更高精度、更高速的測定、檢查的“FineSAT Ⅴ”。
“FineSAT Ⅴ”將獨自開發的數據處理軟件、為高速處理大量數據而新采用的64bit處理系統和高速、高精度掃描儀組合在一起，縮短了檢查、解析時間。
提供利用超聲波的反射、穿透特性非破壞檢測半導體、電子零部件內部的細微結構、缺陷并將其轉換為圖像的裝置——“FineSAT 系列”。
為了應對近年來的需求高度化，強化以往機型“FineSAT Ⅲ”的功能，開發了能進行更高精度、更高速的測定、檢查的“FineSAT Ⅴ”。
“FineSAT Ⅴ”將獨自開發的數據處理軟件、為高速處理大量數據而新采用的64bit處理系統和高速、高精度掃描儀組合在一起，縮短了檢查、解析時間。
采用提高了解析能力的64bit處理系統
標準配置可最多保存、處理4億點超聲波測定的數據，選購配置*1時，可最多保存、處理20億點超聲波測定的數據。 這樣，以往使用FineSAT Ⅲ時，對8英寸的晶圓進行1次測定并轉換成圖像時的最小測定間距為40 µm，而現在使用FineSAT Ⅴ，標準配置能以20 µm的微小間距取得數據并轉換為圖像，選購配置時，能以10 µm以下的微小間距取得數據并轉換為圖像，所以1次掃描就可完成大樣品的詳細測定。 另外，還可進行支持高精度解析、評價的多種圖像顯示。
標準配置可最多保存、處理4億點超聲波測定的數據，選購配置*1時，可最多保存、處理20億點超聲波測定的數據。 這樣，以往使用FineSAT Ⅲ時，對8英寸的晶圓進行1次測定并轉換成圖像時的最小測定間距為40 µm，而現在使用FineSAT Ⅴ，標準配置能以20 µm的微小間距取得數據并轉換為圖像，選購配置時，能以10 µm以下的微小間距取得數據并轉換為圖像，所以1次掃描就可完成大樣品的詳細測定。 另外，還可進行支持高精度解析、評價的多種圖像顯示。
掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s，縮短了檢查時間
測定晶圓等大樣品時，掃描儀的掃描速度對測定時間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發生周期降低到1/2，這樣，測定時間縮短了25%*2。 除了加減速時，掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過新設計的高剛性框架抑制裝置的振動，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。
測定晶圓等大樣品時，掃描儀的掃描速度對測定時間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發生周期降低到1/2，這樣，測定時間縮短了25%*2。 除了加減速時，掃描儀的最大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過新設計的高剛性框架抑制裝置的振動，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。
考慮了設置場所、作業性的裝備
考慮在潔凈室內的使用的情況，掃描儀的門采用上彈方式，同時，作為門的選購件，還準備了防靜電型透明板，提高了防塵性。
為了設置樣品、維護設備時可順暢拆裝臺面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開。
本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。
本體電源ON就可進行升降機的升降操作。不用啟動FineSAT軟件就可動作。
標準裝備便攜控制器。 以往，移動掃描儀內的探頭時，要用鼠標或鍵盤操作顯示器畫面內的按鈕，來回移動視線，查看、操作探頭和監視器或鍵盤。 如果使用便攜控制器，不用離開視線，就可對探頭位置進行微調整。
配備23英寸顯示器，大幅提高數據解析等的視認性、作業性。
可選擇雙顯示器。
*1GUIPC為選購件的情況。
考慮在潔凈室內的使用的情況，掃描儀的門采用上彈方式，同時，作為門的選購件，還準備了防靜電型透明板，提高了防塵性。
為了設置樣品、維護設備時可順暢拆裝臺面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開。
本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。
本體電源ON就可進行升降機的升降操作。不用啟動FineSAT軟件就可動作。
標準裝備便攜控制器。 以往，移動掃描儀內的探頭時，要用鼠標或鍵盤操作顯示器畫面內的按鈕，來回移動視線，查看、操作探頭和監視器或鍵盤。 如果使用便攜控制器，不用離開視線，就可對探頭位置進行微調整。
配備23英寸顯示器，大幅提高數據解析等的視認性、作業性。
可選擇雙顯示器。
*1GUIPC為選購件的情況。
*2與本公司以往機型相比，因條件而有所不同。
*3因測定條件不同，最大掃描速度可能受到限制。
采用的64bit處理系統，大幅強化解析功能。
■ 高分辨率波形顯示
能將超聲波的測定時間單位設定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不斷細微化、多層化的電子裝置的薄層內的缺陷、層間剝離的檢測、深度位置信息的精度提高。
能將超聲波的測定時間單位設定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不斷細微化、多層化的電子裝置的薄層內的缺陷、層間剝離的檢測、深度位置信息的精度提高。
■ 多焦點
通過掃描時連續改變焦點位置的功能，1次測定就可獲得對焦不同的多個深度的圖像，所以能防止漏看缺陷。
通過掃描時連續改變焦點位置的功能，1次測定就可獲得對焦不同的多個深度的圖像，所以能防止漏看缺陷。
■ 多閘門縮略圖顯示
對于通過多閘門測定的多個不同信息的圖像，可生成縮略圖，轉換為容易選擇的一覽顯示。縮略圖圖像可單獨變更調色板。
對于通過多閘門測定的多個不同信息的圖像，可生成縮略圖，轉換為容易選擇的一覽顯示。縮略圖圖像可單獨變更調色板。
■ 覆蓋物顯示(反射圖像/透射圖像重疊)
可重疊顯示通過反射法/透射法同時測定取得的2個圖像。另外，對于顯示的圖像，可調整透明度，所以可設定為容易判斷的圖像。
■ 作為選購件，準備了圖像銳化、體積圖像、孔隙瀏覽器等軟件
可與圖像銳化軟件（對超聲波信號劣化進行補正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測定后將收集的波形數據解析為測定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進行合格與否判定、統計處理）等高度的解析軟件組合。
■ 追隨掃描功能
這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓、扭曲的被檢體。
掃描時可追隨被檢體的表面。
可重疊顯示通過反射法/透射法同時測定取得的2個圖像。另外，對于顯示的圖像，可調整透明度，所以可設定為容易判斷的圖像。
■ 作為選購件，準備了圖像銳化、體積圖像、孔隙瀏覽器等軟件
可與圖像銳化軟件（對超聲波信號劣化進行補正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測定后將收集的波形數據解析為測定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進行合格與否判定、統計處理）等高度的解析軟件組合。
■ 追隨掃描功能
這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓、扭曲的被檢體。
掃描時可追隨被檢體的表面。
規格：
| FSP8Ⅴ | FSP12Ⅴ | |
| 探頭頻率（MHz） | 5～200 | 5～300 |
| 最高頻率（MHz） | 500 | |
| 有效行程（X×Y×Z）?。╩m） | 350×350×80 | |
| 最大掃描速度（mm/s） | 2,000 | |
| 最多測定點數（點） | 標準：4億 GUIPC選購件時：20億 | |
| 外形尺寸（W×H×D） （mm） | 1,590×1,300×940（門關閉狀態） | |
| 質量（kg） | 約470 | |
| 電源（電壓/電流/頻率） | AC100V/15A/ 50/60Hz | |
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