電子束光刻膠ma-N 2400 MR-EBL 6000系列
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 武漢市洪山區萊博茲科學儀器經營部
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2021/3/17 15:22:38
- 訪問次數 818
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供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 化工,能源 |
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電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;光刻膠圖案良好的熱穩定性;優異的圖案分辨率-80 nm以下;堿性水溶液下顯影;
應用領域 用于微電子和納米電子、半導體器件制造、蝕刻掩膜
ma-N 2400系列的用于電子束和深紫外光刻
1)高分辨率(?40-50 nm)
2)堿性水顯影
3)抗蝕劑圖案具有良好的熱穩定性
4)高耐干濕蝕刻性
5)容易移除
MR-EBL 6000系列用于電子束光刻
1)抗蝕劑圖案具有出色的熱穩定性
2)高耐干濕蝕刻性
3)高分辨率(?40-50 nm)
4)需要曝光后烘烤(PEB)
電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;光刻膠圖案良好的熱穩定性;優異的圖案分辨率-80 nm以下;堿性水溶液下顯影;
應用領域 用于微電子和納米電子、半導體器件制造、蝕刻掩膜
規格:250ml