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化工儀器網>產品展廳>生命科學儀器>芯片系統>生物芯片/芯片掃描儀/芯片檢測儀> TYG-2000/T2步進投影光刻機

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TYG-2000/T2步進投影光刻機

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 安徽智微科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/6/4 13:39:01
  • 訪問次數 2018

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安徽智微科技有限公司是一家專注于微流控領域產品和技術服務的企業,公司擁有多名微流控行業資深銷售和技術人員,憑借強大的資源整合能力和技術研發實力,為您提供一站式微流控產、學、研服務。
主營業務包括:

1.微流控芯片:所有材質的微流控芯片的研發、設計、加工、處理、封裝。

2.微流控芯片的組件、配件、耗材:光刻膠、PDMS、以及其他耗材。
3.微流控芯片相關設備:微流控芯片加工、微流控芯片封合、微流體驅動、微流體控制、微流控芯片表面處理、溫度控制、樣品前處理、以及其他設備。
4.微流控芯片實驗室組建:微流控芯片實驗室的整體解決方案,包括設計、組建以及實驗室相關技術輸出。

5.微流控芯片量產設備與服務:提供有機材質(PDMS、PMMA等)和無機材質(石英、玻璃等)微流控芯片批量生產設備以及批量代加工服務。

6.微流控系統開發:基于微流控芯片技術的終端應用,可開發細胞、免疫、生化、分子診斷方面設備。

生物芯片,壓力泵,注射泵,微流控實驗室組建

價格區間 面議 儀器種類 微流控芯片系統
應用領域 醫療衛生,環保,電子
產品名稱:TYG-2000/T2步進投影光刻機
主要技術指標:
   曝光場面積:20mm×20mm
   分辨力:2μm;
   照明不均勻性:±2%
   物鏡倍率:2.5倍(縮小)
   光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線)
   基片尺寸:4 英寸
   工件臺運動范圍:X:>150mm、 Y:>150mm;
   工件臺運動定位精度:±0.65μm
   調焦臺運動靈敏度:1μm
   對準精度:±0.5μm
   調焦臺運動行程:5mm
   檢焦:CCD檢測,檢測精度0.5微米
   轉動臺行程:±4°以上
   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進投影光刻機主要技術配置:
(1)照明系統:冷光橢球鏡;   350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗);   XYZ汞燈調節臺;   光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風扇
(2)工件臺系統:X臺:電機驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵(美國)   Y臺:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵2(美國)   轉動臺:電機及驅動器(日本樂孜),轉動軸系 調平臺:電機及驅動器(3套)、調平機構   Z臺:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠、上升導向機構; 承片臺:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)檢焦系統:焦面光學檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
(4)對準系統:對準光學檢測系統(2套)、CCD(2套)、對準軟件
(5)電控系統:汞燈電源及觸發器、主機控制系統、軟件、計算機、顯示器、接口
(6)其他部件:底座 減震器(4個);控制柜桌;氣動系統;電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺(靜音泵);管道

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