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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>CYRANNUS 微波等離子化學氣相沉積系統

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CYRANNUS 微波等離子化學氣相沉積系統

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  • 我們是誰

    美國Quantum Design公司是科學儀器制造商,其研發生產的系列磁學測量系統及綜合物性測量系統已成為業內進的測量平臺,廣泛分布于全球材料、物理、化學、納米等研究域的科研實驗室。Quantum量子科學儀器貿易(北京)有限公司(暨Quantum Design中國子公司) 成立于2004年,是美國Quantum Design公司設立的諸多子公司之,在全權負責美國Quantum Design公司本部產品在中國的銷售及售后技術支持的同時,還致力于和范圍內物理、化學、生物域的科學儀器制造商進行密切合作,幫助中國市場引進更多全球范圍內的質設備和技術,助力中國科學家的項目研究和發展。

  • 我們的理念

    Quantum Design中國的長期目標是成為中國與進行進技術、進儀器交流的重要橋頭堡。助力中國科技發展的十幾年中,Quantum Design中國時刻保持著積進取、不忘初心、精益求精的態度,為中國科學家提供更質的科學和技術支持。隨著中國科學在舞臺變得愈加舉足輕重,Quantum Design中國將繼續秉承“For Scientist, By Scientist”的理念,助力中國科技蓬勃發展,助力中國科技在騰飛!

  • 我們的團隊

    Quantum Design中國擁有支具備強大技術背景、職業化工作作風的團隊,并致力于培養并引進更多博士業技術人才。目前公司業務團隊高學歷業碩博人才已占比超過70%以上,高水平人才的不斷加入和日益密切的團隊配合幫助QD中國實現連續幾年銷售業績的持續增長

  • 我們的服務


  • Quantum Design中國擁有完善的本地化售前、售中和售后服務體系。國內本地設有價值超過50萬美元的備件庫,用于加速售后服務響應速度;同時設有超過300萬美元的樣機實驗室,支持客戶對設備進行進步體驗和深度了解。 “不僅提供超的產品,還提供超的售后服務”這將是Quantum Design中國區別于其他科研儀器供應商的重要征,也正成為越來越多科學工作者選擇Quantum Design中國的重要原因。



PPMS,MPMS,低溫磁學,表面成像,樣品制備,生命科學儀器

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,石油,能源,冶金,綜合

微波等離子化學氣相沉積系統-MPCVD

 

 

       微波等離子化學氣相沉積技術(MPCVD), 通過等離子增加前驅體的反應速率,降低反應溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形態好的高質量硬質薄膜和晶體。 

       MPCVD是制備大尺寸單晶金剛石有效手段之。德國iplas公司的 CYRANNUS® 等離子技術解決了傳統等離子技術的局限,可以在10mbar到室壓范圍內激發高穩定度的等離子團,大限度的減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀態的變化,從而確保單晶生長的持續性,為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。

 

應用域

● 大尺寸寶石單晶鉆石

● 高取向度金剛石晶體

● 納米結晶金剛石

● 碳納米管/類金剛石碳(DLC)

● MPCVD同樣適用于其它硬質材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉積和晶體合成。

 

MPCVD等離子化學氣相沉積設備  

 

1.CYRANNUS®技術無需在樣品腔內安裝內部電,在沉積腔內,沒有工作氣體以外的任何物質,潔凈,無污染源。等離子發生器可以保持長壽命,并可以確保腔內的等離子體的均勻分布,進步生成晶體的純凈度和生長周期。

2.CYRANNUS®技術的腔外多電設置,確保等離子團穩定生成于腔內中心位置,對腔壁、窗口等無侵蝕作用,減少雜質來源,提高晶體純度。由CYRANNUS®系統合成的金剛石,純度均在VVS別以上。

3電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高,運載氣體保持合適的溫度,因此可使基底的溫度不會過高。

4.微波發生器穩定易控,能在從10 mbar到室壓的高壓強環境下維持等離子體,在氣流、氣壓、氣體成分、電壓出現波動時,確保等離子體狀態的穩定,保證單晶生長的過程不被上述干擾而中斷,有于獲得大尺寸單晶金剛石。

5.可以采用磁約束的方法,約束在等離子團在約定的空間內,微波結和磁路可以兼容。

6.安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離,微波泄漏小,容易達到輻射安全標準。

7.可搭配多種功率微波源和不同尺寸腔體,滿足從實驗室小型設備到工業大型裝置的不同需要。可以對直徑達300mm的襯底沉積金剛石薄膜。

 

化學機理概要

碳氫化合物:提供沉積材料

氫氣:生成sp3

氧:對石墨相/sp2鍵侵蝕

惰性氣體:緩沖氣體,或生成納米晶體。

 

 

適用合成材料:

 

大尺寸寶石單晶鉆石

高取向度金剛石晶體

納米結晶金剛石

碳納米管/類金剛石碳(DLC)


金剛石薄膜

 

寶石鉆石

vvs1,~1 carrat, E grade

 

設備選件

 

多種等離子發生器選擇:

 

頻率:2.45 GHz, 915 MHz

功率:1-2 kW, 1-3 kW, 3-6 kW,1-6 kW,5-30 kW

等離子團直徑:70 mm, 145 mm, 250 mm, 400 mm

工作其他范圍:0-1000 mBar 

  

其他應用:

 

MPCVD同樣適用于平面基體,或曲面顆粒的其它硬質材料如Al2O3,c-BN的薄膜沉積和晶體合成。德國iplas公司憑借幾十年在等離子技術域的積累,可以為用戶提供高度定制的設備,滿足用戶不同的應用需要。

 

發表文章

 

1. Use of optical spectroscopy methods to determine the solubility limit for nitrogen in diamond single crystals synthesized by chemical vapor deposition, Journal of Applied Spectroscopy, Vol. 82, No. 2, May, 2015 (Russian Original Vol. 82, No. 2, March–April, 2015).

2. Large Area Deposition of Polycrystalline Diamond Coatings by Microwave Plasma CVD. Trans. Ind. Ceram. Soc., vol. 72, no. 4, pp. 225-232 (2013).

 

用戶單位

中科院沈陽金屬所

吉林大學

 


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