產品介紹：

名  稱：安賽斯程控勻膠機

型  號：12英寸

應  用：安賽斯程控勻膠機勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。

產品概述：

　　安賽斯程控勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別400瓦伺服電機系統，采用于track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中大達到50000rpm/s的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。

性能參數：

l  主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：多存100組程序，每組100步，每個步驟可達到0.1秒

l  轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l  旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l  馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm

l  轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm

l  工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）

l  旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

產品特點：

l  內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。

l  標準配置轉速5000rpm，并可根據用戶需要進行定制。

l  采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，不會生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

產品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

咨詢或索取詳細產品資料，請聯系ANALYSIS（安賽斯）工作人員。

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