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iH1800 干式泵維修

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公司簡介

昆山上善真空科技有限公司位于江蘇省昆山市花橋鎮,成立于2017年。擁有日本OKUMA、MAZAK精密數控設備、精密焊機、氦氣質譜檢漏儀等先進設備。

公司主要產品為真空閥門(真空角閥、真空插板閥、真空球閥、真空蝶閥等)真空元器件(ISO、CF,KF.NW、VG.VF真空法蘭,接頭,中心支架,卡箍,管道,腔體等),真空泵等,廣泛應用于半導體、液晶面板、太陽能、科研、航空航天、生物制藥等高新技術領域。

產品出口到美國、日本、歐洲等國家。

公司始終按照*的要求指導設計及生產、檢驗,加強人員的培訓,保證產品的質量。

Kunshan Excellent Vacuum Technology Co.,Ltd. is located in Huaqiao Town,Kunshan City,Jiangsu Province,and was founded in 2017.lt has advancedequipment such as Japan OKUMAMAZAK precision CNC equipment, precisionwelding machine, helium mass spectrometer leak detector and so on.

The main products of the company are vacuum valves (vacuum valve, vacuumplate valve, vacuum ball valve, vacuum butterfly valve, etc.), vacuum Yuan Qijian(ISO,CF,KF,NW,VG, VF vacuum flanges, joints, center supports,hoops,pipes,cavities,etc.), vacuum pumps,etc.,widely used in semiconductors, liquid crystalpanels, solar energy, scientific research, Aerospace, bio pharmaceutical and otherhigh-tech fields.

Products exported to the United States,Japan, Europe and other countries.The company has always guided the design and production and inspectionaccording to the requirements of the lSO9001 system, and strengthened the trainingof personnel to ensure the quality of products.


真空閥門,真空泵,真空機組,真空泵維修,真空管道,波紋管,鍍膜機

應用領域 醫療衛生,石油,電子,綜合
  iH1800干式泵維修參數:
 
  iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
 
  A59040946
 
  技術數據
 
  峰值速度                 1800 m3h-1
 
  1060 cfm
 
  30000 l min-1
 
  極限真空                 1 x 10-3 mbar
 
  7.5 x 10-4 Torr
 
  0.1 Pa
 
  典型軸封氮流量                 4 slm
 
  進氣口連接                 ISO160
 
  出口連接                 NW40
 
  15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
 
  4 l min-1
 
  重量                         502 kg
 
  極限功率輸入                 4.1 kW
 
  電機額定功率                 7.0 kW
 
  油容量                         1.6 l
 
  Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
 
  iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
 
  iH1800干式泵維修應用:
 
  負載鎖
 
  輸送
 
  計量
 
  平版印刷
 
  PVD 制程
 
  PVD 預清潔
 
  RTA
 
  剝離/灰化
 
  刻蝕
 
  植入源
 
  HDP CVD
 
  RTP
 
  SACVD
 
  MCVD
 
  PECVD
 
  LPCVD
 
  ALD
 
  東莞市上善真空設備有限公司專業維修干泵,半導體干泵,干泵,愛發科干泵,漢鐘干泵,卡西雅瑪干泵等干泵維修


 
  東莞市上善真空設備有限公司集生產銷售、安裝設計、維修保養真空設備、真空氦檢漏儀及通用機械設備、精密機械及自動化設備等產品的企業。公司主要銷售及維修真空泵品牌有:上善系列單雙級真空泵、上善螺桿及羅茨真空泵、德國LEYB0LD真空泵、德國BUSCH真空泵、德國RIETSCHLE里其樂真空泵、德國BECKER貝克真空泵、英國EDWARDS真空泵、日本ULVAC愛發科真空泵、德PFEIFFER普發真空泵、日本ORION真空泵、ATLAS阿*真空泵、美國AGILENT安捷倫真空泵等進口真空泵及真空系統。銷售真空泵配件:真空泵油、油霧分離器、排氣過濾器、葉片、碳精片、油過濾器、進氣濾芯、空氣總成、散熱風扇、風扇葉、風扇罩、真空泵油管、油封、軸承、軸套、排氣閥、逆止閥、氣鎮閥、視油鏡、密封套件、聯軸器、聯軸器墊等配件材。 同時公司還經營電子材料:厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充膠、COB灌封膠、LED固晶膠、陶瓷線路板灌封膠等。


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