化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機(jī)>CRF-APO-DP1010-D 鄭州市fpc電容式觸摸屏等離子設(shè)備廠家
CRF-APO-DP1010-D 鄭州市fpc電容式觸摸屏等離子設(shè)備廠家
參考價 | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1 臺 |
- 公司名稱 深圳市誠峰智造有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CRF-APO-DP1010-D
- 產(chǎn)地 寶安區(qū)沙井街道黃埔孖寶工業(yè)區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/12/22 14:25:31
- 訪問次數(shù) 164
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,印刷包裝,航天,汽車 |
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鄭州市fpc電容式觸摸屏等離子設(shè)備廠家:誠峰智造
噴射型AP等離子處理系統(tǒng)CRF-APO-DP1010-D
名稱(Name) 噴射型AP等離子處理系統(tǒng)
型號(Model) CRF-APO-DP1010-D
電源(Power supply) 220V/AC,50/60Hz
功率(Power) 1000W/25KHz
處理高度(Processing height) 5-15mm
處理寬幅(Processing width) 1-6mm(Option)
內(nèi)部控制模式(Internal control mode) 數(shù)字控制
外部控制模式(External control mode) RS485/RS232數(shù)字通訊口、
模擬量控制口 工作氣體(Gas)
Compressed Air (0.4mpa)
產(chǎn)品特點(diǎn):可選配多種類型噴嘴,使用于不同場合,滿足各種不同產(chǎn)品和處理環(huán)境;
具有RS485/232數(shù)字通訊口和模擬量控制口,滿足客戶多元化需求。
設(shè)備尺寸小巧,方便攜帶和移動,節(jié)省客戶使用空間;
可In-Line式安裝于客戶設(shè)備產(chǎn)線中,減少客戶投入成本;
使用壽命長,保養(yǎng)維修成本低,便于客戶成本控制;
應(yīng)用范圍:主要應(yīng)用于電子行業(yè)的手機(jī)殼印刷、涂覆、點(diǎn)膠等前處理,手機(jī)屏幕的表面處理;工業(yè)的航空航天電連接器表面清洗;通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等。
鄭州市fpc電容式觸摸屏等離子設(shè)備廠家
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,對技術(shù)的要求越來越高,特別是半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán)格,主要原因是圓片表面的粒子和金屬雜質(zhì)污染嚴(yán)重影響設(shè)備的質(zhì)量和成品率,在現(xiàn)在的集成電路生產(chǎn)中,圓片表面污染問題,還有50%以上的材料損失。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,幾乎每個過程都需要清洗,圓片清洗質(zhì)量對設(shè)備性能有嚴(yán)重影響。正因?yàn)閳A片清洗是半導(dǎo)體制造技術(shù)中重要、頻繁的步驟,其技術(shù)質(zhì)量直接影響設(shè)備的成品率、性能和可靠性,國內(nèi)外各大公司、研究機(jī)構(gòu)等對清洗技術(shù)的研究不斷進(jìn)行。等離子清洗作為一種*的干式清洗技術(shù),具有綠色環(huán)保等特點(diǎn),隨著微電子行業(yè)的快速發(fā)展,等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用也越來越多。
半導(dǎo)體污染雜質(zhì)及分類。
半導(dǎo)體制造需要一些有機(jī)物和無機(jī)物參與完成。此外,由于工藝總是由人們參與凈化室,半導(dǎo)體圓片不可避免地會被各種雜質(zhì)污染。根據(jù)污染物的來源、性質(zhì)等,大致可分為粒子、有機(jī)物、金屬離子和氧化物4種。
顆粒。
粒子主要是聚合物、光刻膠、蝕刻雜質(zhì)等。這種污染物通常主要依靠范德瓦爾斯的吸引力吸附在圓片表面,影響設(shè)備雕刻工序幾何圖形的形成和電學(xué)參數(shù)。這種污染物的去除方法主要用物理或化學(xué)方法切割粒子,逐漸減少與圓表面的接觸面積,終去除。
有機(jī)物。
有機(jī)物雜質(zhì)的來源比較廣泛,如人的皮膚油脂、細(xì)菌、機(jī)械油、真空油、光刻膠、清洗溶劑等。這種污染物通常在圓形表面形成有機(jī)物薄膜,阻止清洗液到達(dá)圓形表面,圓形表面清洗不*,清洗后金屬雜質(zhì)等污染物仍*保留在圓形表面。這種污染物的清除通常在清洗過程的進(jìn)行,主要用硫酸和過氧化氫水等方法進(jìn)行。
金屬。
半導(dǎo)體技術(shù)中常見的金屬雜質(zhì)有鐵、銅、鋁、鉻、鎢、鈦、鈉、鉀、鋰等,這些雜質(zhì)的來源主要有各種器皿、配管、化學(xué)試劑、半導(dǎo)體圓片加工中,在形成金屬連接的同時,也產(chǎn)生了各種金屬污染。這種雜質(zhì)的去除通常采用化學(xué)方法,通過各種試劑和化學(xué)藥品制成的清洗液和金屬離子反應(yīng),形成金屬離子的結(jié)合物,脫離圓片表面。
氧化物。
半導(dǎo)體圓片在含氧和水的環(huán)境下表面形成自然氧化層。該氧化膜不僅妨礙了半導(dǎo)體制造的許多步驟,還包括金屬雜質(zhì),在一定條件下轉(zhuǎn)移到圓片中形成電氣缺陷。
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗技術(shù)中的應(yīng)用等離子清洗技術(shù)簡單,操作方便,無廢棄物處理和環(huán)境污染等問題。但是,它不能去除碳和其他非揮發(fā)性金屬或金屬氧化物。等離子體清洗常用于光刻膠的去除技術(shù),在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中加入少量氧氣,在強(qiáng)電場的作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,使光刻膠迅速氧化成揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)。該清洗技術(shù)具有去膠技術(shù)操作方便、效率高、表面清潔、無損傷、有利于確保產(chǎn)品質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn),不使用酸、堿、有機(jī)溶劑等,越來越受到重視。