| 靶材材質 | 金、鉑、鎳、銅、銀等 | 靶材尺寸 | φ57/50mm |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
| 濺射氣體 | 空氣/氬氣 | 控制方式 | 自動 |
| 樣品倉尺寸 | φ120/170X110mm | 樣品臺尺寸 | 70mm |
| 應用領域 | 醫療衛生,環保,生物產業,地礦,電子 |
主要技術參數： |
低溫磁控型
1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗，方便觀察操作；
2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；
3.微調閥調節靈敏準確，帶有刻度標識；
4.真空泵抽速快，噪音低，適合實驗室使用；
5.控制電路為控制板，工作穩定可靠；
6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便；
7.結構簡單可靠，布局合理，維修操作空間大；
8.自動真空的進排氣，關機自動放棄（標準版手動放氣）
9.優化機型外觀，整潔大方，體積靈巧；
10.數字方式定時，0-9999秒區間自主調節；
11.采用冷陰極磁控濺射靶頭；
12.升降式上翻蓋結構，更換樣品方便快捷；
13.采用定制“凹”密封，更加方便操作；
14.增大樣品處理室空間，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體；
15.定制型真空泵排氣過濾器；
16.獨立式升降樣品臺組件（標準為2支柱緊固型）；
石英處理室：Φ150mm,高度110mm;
濺射類型： 冷陰極磁控型二級濺射；
樣臺尺寸：150mm,樣品臺插孔61個可選；
樣品更換：升降式上翻蓋結構，上蓋打開可獨立支撐
靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）;
真空系統：*型德國進口無油渦旋真空泵2L/S；
真空檢測：定制皮氏計，配合真空指針表，靈敏可靠；
真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節工作真空；
真空泄壓：自動進排氣（無需手動放氣閥）；
電路保護：過載保護；
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進氣口；
擁有暫停計時和濺射功能；
濺射電流不小于30mA，濺射電流不大于5mA，步進量1mA；
濺射真空度可任意設定，調節精度±0.1Pa；
濺射時間不小于600秒，步進量為1s；
具備電流保護或真空保護功能，在電流過大、真空度較差時保證設備安全；極限真空優于1Pa；
實時顯示濺射電流和真空度。
離子濺射儀性能指標及各系統組成 |
項目 | 說明 |
產品名稱 | 自動低溫磁控離子濺射儀 |
型號 | TZ-1000DCK |
容積、重量和尺寸 | |
艙室尺寸 | φ150X110 （mm） |
外形尺寸 | 主機：約450X330X235mm;包裝尺寸：560X450X345 真空泵: 約480X135X200；包裝尺寸：580X215X367mm |
重量 | 43㎏ |
噪音 | 65db以內（離機臺正面1米并離地面1.2米處測量） |
功率 | 約500W |
電流 | 約10A |
供電條件和電源 | AC220V +保護接地 電壓允許波動范圍：10% 頻率允許波動范圍：（50±0.5）ＨZ TN-S方式供電或TT方式供電 保護地線接地電阻小于4Ω |
性能指標保證 | |
功能保障 | 1.（空氣）室內空間潔凈干燥； 2.可選配純凈氬氣氣源 3.按流程操作 |
理論膜厚計算 | 涂層的厚度 一般來說，用于掃描樣品時金屬的厚度為100—300 ?，經驗的厚度測定可由下面的公式得到： d=KIVt 其中d是以“?！睘閱挝坏腻兡ず穸?。 K是常數，取決于濺射金屬和所充氣體，此時靶與樣品之間的距離大約是5cm。 I是等離子流的單位mA。 V是以“KV“為單位所施電壓（1.68KV）。 t是以秒為單位的時間。 采用金靶和氬氣時K為0.17，如用空氣K為 0.07。因此對于典型的濺射。 例如：I為8mA，t為100秒則，d=KIVt=0.17′8′100=136 ? 即每秒1.36 ? 濺射速度依賴于濺射系統本身的清潔程度，因此保護工作室的清潔十分重要。 |
顆粒度參數照片(冷陰極磁控型) | |||
10mA,20S | 10mA,40S | 10mA,60S | |
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真空泵 | |||
真空泵 |
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飛躍8立方米/秒 | |||
零配件 | |||
石英鐘罩 |
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真空管件 |
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濺射靶頭 | 冷陰極磁控靶頭 | ||
濺射靶材 |
金靶和鉑靶（默認鉑金） | ||
高壓連接線 | |||
過濾器 | 排氣口過濾器，減少對環境的污染。 | ||
耗材 | |||
真空泵油、靶材等 | |||
服務承諾
質保期限：
安裝調試：
可提供的服務方式：
熱線應答：
包裝及運輸方式：
包裝：滿足QB／BWD008-2001之要求的運輸包裝箱
輸方式：公路貨運物流
序號 | 用 戶 | 數量 | 設備型號 |
1 | 華南理工大學材料學院 | 1 | ISC-20 |
2 | 電子五所 | 3 | ISC-20 |
3 | 山西國惠公司 | 1 | ISC-20 |
4 | 中山大學測試中心 | 1 | ISC-20 |
5 | 金發科技 | 1 | ISC-20 |
6 | 桂林電子科技大學 | 1 | ISC-20 |
7 | 廣西特種設備監督檢驗院 | 1 | ISC-20 |
8 | 江蘇科技大學材料學院 | 1 | ISC-20 |
9 | 深圳市藥品檢驗所 | 1 | ISC-20 |
10 | 仲愷農業工程學院 | 1 | ISC-20 |
11 | 順德職業技術學院 | 1 | ISC-20 |
12 | 廣州纖維產品檢測研究院 | 1 | ISC-20 |
13 | 廣東工業大學材料與能源學院 | 1 | ISC-20 |
14 | 廣西植物所 | 1 | ISC-20 |
15 | 廣西壯族自治區環境監測中心站 | 1 | ISC-20 |
16 | 佛山市質量計量監督檢測中心 | 1 | ISC-20 |
17 | 廣東省新材料研究所 | 1 | ISC-20 |
18 | 華南農業大學 | 1 | ISC-20 |
19 | 寧德時代新能源科技股份有限公司 | 2 | ISC-20 |
20 | 華南理工大學造紙學院 | 1 | ISC-20 |
21 | 華南理工大學測試中心 | 1 | ISC-20 |
22 | 中南大學 | 1 | ISC-20 |
23 | 南昌大學 | 1 | ISC-1000 |
24 | 鋼鐵研究總院 | 1 | ISC-20 |
25 | 深圳方正公司 | 1 | ISC-20 |
26 | 西南物理研究院 | 1 | ISC-20 |
27 | 江蘇產品質量監督檢查 | 1 | ISC-1000 |
28 | 珠海海萊特電子科技公司 | 1 | ISC-1000 |
29 | 深圳豪鵬公司 | 1 | ISC-1000 |
30 | 哈爾濱工業大學 | 1 | ISC-1000 |
31 | 東北石油大學 | 1 | ISC-1000 |
32 | 新疆克拉瑪依油田 | 1 | ISC-1000 |
33 | 吉林大學 | 1 | ISC-1000 |
34 | 金正大公司 | 1 | ISC-1000 |
35 | 齊魯石化公司 | 1 | ISC-1000C |
36 | 青島華世潔公司 | 1 | ISC-1000C |
37 | 煙臺萬潤公司 | 1 | ISC-1000C |
38 | 河南師大 | 1 | ISC-1000C |
39 | 貴州大學 | 1 | ISC-1000C |
40 | 廣州大學 | 1 | ISC-1000C |
41 | 奧瑞金 | 1 | ISC-1000C |
42 | 江西電科院 | 1 | ISC-1000C |
43 | 中北大學 | 1 | ISC-1000C |
44 | 中航鋰電 | 1 | ISC-1000C |
45 | 中科院城市環境研究所 | 1 | ISC-20 |
46 | 南京航天航空大學 | 1 | ISC-20 |
47 | 威特真空 | 1 | ISC-20 |
48 | 東北大學秦皇島分校 | 1 | ISC-20 |
49 | 美的集團研發部 | 1 | ISC-20 |
50 | 桂林理工大學 | 1 | ISC-20 |
51 | 中南大學 | 1 | TZ-1000CK |
52 | 云南師范大學 | 1 | TZ-1000CK |
53 | 中海油南海西部研究所 | 1 | TZ-1000CK |
54 | 一汽技術中心 | 1 | TZ-1000CK |
55 | 江西理工大學 | 1 | TZ-1000CK |
56 | 北京大學 | 1 | 108AUTO |
57 | 昆明礦產 | 1 | 108AUTO |
58 | 河南巖石 | 1 | 108AUTO |
59 | 常州工學院 | 1 | TZ-1000CK |
60 | 江蘇中天 | 1 | 108manual |
61 | 中科院地理所 | 1 | 108auto |
62 | 捷鴻電子科技 | 1 | ISC-20 |
63 | 德州學院 | 1 | 108auto |
64 | 上海外高橋 | 1 | 108auto |
65 | 上海通用東岳動力 | 1 | ISC-20 |
66 | 內蒙古科技大學 | 1 | 108C auto |
67 | 江蘇協鑫硅材料 | 1 | ISC-20 |
68 | 廣東工業大學 | 1 | ISC-20 |
69 | 遼寧科技大學 | 1 | ISC-20 |
70 | 華北電力 | 1 | ISC-20 |
71 | 深圳市藥檢所 | 1 | 108auto |
72 | 中原工學院 | 1 | 108manual |
73 | 廣東省疾控中心 | 1 | 108c auto |
74 | 綿陽華立精工 | 1 | 108manual |
75 | 上海市軸承技術研究所 | 1 | 108auto |
76 | 美的集團真空部 | 1 | TZ-1000C |
77 | 內蒙古科技大學 | 1 | TZ-1000C |
78 | 山西煤矸石 | 1 | 108auto |
79 | 成都奧圖 | 1 | 108auto |
80 | 蘭州油氣中心 | 1 | 108Cauto |
81 | 上海汽車商務車 | 1 | 108auto |
82 | 江西技術師范學院 | 1 | 108manual |
83 | 長春理工大學 | 1 | 108manual |
84 | 哈工大 | 1 | TZ-1000CK |
85 | 鋼鐵研究總院 | 1 | TZ-1000CK |
86 | 四川科源 | 1 | TZ-1000CK |
87 | 揚州質檢所 | 1 | TZ-1000CK |
88 | 中國平煤神馬能源化工 | 1 | TZ-1000CK |
89 | 南通市通州區家紡產業 | 1 | TZ-1000CK |
90 | 遼寧科技學院 | 1 | TZ-1000CK |
91 | 天津東皋膜技術有限公司 | 1 | 108auto |
92 | 黑龍江大學 | 1 | 108auto |
93 | 1 | 108+108C | |
94 | 廣東省博物館 | 1 | 108auto |
95 | 寶雞吉利 | 1 | ISC-20 |
96 | 歌爾聲學股份有限公司 | 1 | ISC-20 |
97 | 燕山大學 | 1 | ISC-20 |
98 | 交通科學研究院 | 1 | 108auto |
99 | 華南師范大學測試中心 | 1 | 108C |
100 | 廣州有色金屬研究院 | 1 | 108auto |
101 | 山東師范大學 | 1 | 108manual |
102 | 成都海威 | 1 | 108auto |
103 | 中國地質* | 1 | 108C |
104 | 浙江海利得 | 1 | 108manual |
105 | 國家康復輔具研究中心 | 1 | ISC-1000C |
106 | 株洲電力機車 | 1 | ISC-1000C |
107 | 北京林業大學 | 1 | ISC-1000C |
108 | 浙江浙能 | 1 | ISC-1000C |
109 | 華東師大 | 1 | ISC-1000C |
110 | 華中科技大學 | 1 | 108auto |
111 | 中山大學生科院 | 1 | 108C |
112 | 內蒙古地質調查院 | 1 | 108C |
113 | 兗礦水煤漿氣化及煤化工 | 1 | 108+108C |
114 | 安徽銅鉛鋅及制品質量監督檢驗 | 1 | 108+108C |
115 | 西安高通微波科技有限公司 | 1 | 108+108C |
116 | 東莞理工學院 | 1 | 108A |
117 | 中海石油（中國）有限公司北京研究中心 | 1 | 108A+108C |
118 | 百色學院 | 1 | ISC-20 |
119 | 廣西華納新材料科技有限公司 | 1 | ISC-20 |
120 | 華為（華為技術、華為終端、華為南方工廠、華為海思） | 4 | ISC-20 |
121 | 高意通訊（深圳）有限公司 | 1 | ISC-20 |
122 | 東莞市局 | 2 | 108+108C |
123 | 廣州市局 | 2 | 108+108C |
124 | 廈門大學 | 1 | 108A+MTM-20 |
125 | *福建物質結構研究所 | 1 | ISC-20 |
125 | 集美大學 | 1 | ISC-20 |
126 | 珠海冠宇(原光宇)電池有限公司、光宇重慶基地 | 2 | ISC-20 |
127 | 防城港* | 1 | ISC-20 |
128 | 佛山道氏科技有限公司 | 2 | 108+108C |
129 | 吉林大學 | 1 | 108C |
130 | 上海凱密特爾化學品有限公司 | 1 | TZ-1000CK |
131 | 國家康復輔具研究中心 | 1 | TZ-1000CK |
132 | 通標標準技術服務有限公司廣州分公司SGS | 1 | TZ-1000CK |
133 | 深圳市研一新材料有限責任公司 | 1 | TZ-1000CK |
134 | 廣州機械科學研究院有限公司 | 1 | TZ-1000CK |
135 | 東風本田發動機有限公司 | 1 | 108A |
136 | 廣東風華*股份有限公司 | 1 | 108A |
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