qirui RTP-100快速退火爐
- 公司名稱 上海騏銳信息科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 qirui
- 產地 上海
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2020/10/31 15:33:54
- 訪問次數 2407
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 化工,能源,電子,印刷包裝,電氣 |
RTP-100快速退火爐
技術規格:
- 溫度:1200攝氏度;
- 升溫速率:150攝氏度/秒;
- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);
- 溫控均勻性:≤ 1.5%設定溫度;
- 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部加熱;
- 燈管數量及功率:18支/20千瓦;
- 腔體冷卻:水冷方式;
- 襯底冷卻:氮氣吹掃;
- 工藝氣路:MFC控制,多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等);
- 主機尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),約55Kg;
RTP-100快速退火爐
儀器特點:
- 真空快速退火爐,有低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa);
- 可在不同氣氛環境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;
- 控制方式:SIMATIC, SPS人機界面控制,7英寸觸摸屏;
- 可存儲50個程序,每個程序多分為50段控制;
- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置;
- 優異的溫控均勻性,的工藝重現性;
- 臺式設計;
應用領域:
- 離子注入/接觸退火;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介電材料;
- 晶體化,致密化;
- 太陽能電池片鍵合;
等等...