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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>qirui RTP-100快速退火爐

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qirui RTP-100快速退火爐

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RTP-100快速退火爐

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上海騏銳信息科技有限公司是一家系統集成科貿企業。公司專業提供國產、進口精密測試儀器及系統集成解決方案,擁有一支專業技術服務團隊,為新老客戶提供完善的售前售后服務。 公司主要服務于通訊、電力、電子、石化、工業自動化、科研教學等行業。 公司全體同仁堅持誠信經營,時刻為客戶提供高效滿意的服務,以獲取于客戶長期愉快的合作,實現雙贏。公司與以下國內外廠商建立了長期合作關系:日本安立公司,美國泰克 Tektronix 公司 南京盛普 Sample 公司 美國福祿克 Fluke 公司 北京普源精電 Rigol 公司 美國安捷侖 Agilent 公司 中國臺灣茂迪 Motech 公司 美國艾法斯 Aeroflex 公司 中國臺灣固緯 Goodwill 公司 美國吉時利 Keithley 公司 日本巖崎 Iwatsu 公司 美國國家儀器 NI 公司 日本愛德萬 Advantest 公司 美國 Magtrol 公司 德國惠美 Hameg 公司 韓國 Tescom 公司 安徽 41 所 韓國金進 Jungjin 公司 常州同惠

電子儀器儀表 材料測試

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,能源,電子,印刷包裝,電氣

RTP-100快速退火爐

技術規格:
- 溫度:1200攝氏度;
- 升溫速率:150攝氏度/秒;
- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);
- 溫控均勻性:≤ 1.5%設定溫度;
- 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部加熱;
- 燈管數量及功率:18支/20千瓦;
- 腔體冷卻:水冷方式;
- 襯底冷卻:氮氣吹掃;
- 工藝氣路:MFC控制,多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等);
- 主機尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),約55Kg;
 RTP-100快速退火爐
儀器特點:
- 真空快速退火爐,有低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa);
- 可在不同氣氛環境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;
- 控制方式:SIMATIC, SPS人機界面控制,7英寸觸摸屏;
- 可存儲50個程序,每個程序多分為50段控制;
- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置;
- 優異的溫控均勻性,的工藝重現性;
- 臺式設計;
 
應用領域:
- 離子注入/接觸退火;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介電材料;
- 晶體化,致密化;
- 太陽能電池片鍵合;
等等...

相關分類

氧化擴散設備


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