Firebird 全自動原子層沉積系統(ALD)
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 香港電子器材有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Firebird
- 產地 美國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2020/8/27 16:59:24
- 訪問次數 465
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美國普林斯頓CCD、光譜儀,加拿大Sciencetech太陽能模擬器、BNC延遲脈沖器、Gentec光電探測器、海洋光學光譜產品、半導體前道產品、Crystalaser激光器、EOS紅外探測器、半導體后道產品
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 醫療衛生,生物產業,電子,制藥 |
Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經有15年以上的ALD研發生產經驗。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學,05年搬到Boston并生產出Thermal ALD - Savannah, 之后生產出Plasam ALD - Fuji、批量生產ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止,Veeco在ALD設備已有15年多的經驗,已安裝五百多臺ALD設備。
Firebird Batch Thermal ALD System
?方式: Thermal batch ALD
優勢:*自動化的批量生產系統,**生產能力(每月多40000片),ZD的成本,ZG的產量,極優的一致性針對脆弱/溫度敏感的襯底解決方案,包括LNO/LTO/玻璃模塊化熱管理,以實現**工藝靈活性和產量
薄膜: 氧化物薄膜,包含封裝層、光學涂層氧化物薄膜,包含封裝層、光學涂層
反應腔體大小: 無縫晶片尺寸轉換能力高達300mm