3C閥門類別 | 工業 | 工作溫度 | 高溫 |
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類型(通道位置) | 三通式 | 零部件及配件 | 閥體 |
流動方向 | 雙向 | 壓力環境 | 高壓 |
應用領域 | 醫療衛生,環保,化工,生物產業,農業 | 種類 | 其他 |
因產品配置不同,價格貨期需要電議,圖片僅供參考,一切以實際成交合同為準。
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為的真空環境而設計. HVA 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側密封的門上雙密封設計, 閥門內部幾乎沒有移動部件, 大限度減少粒子的生成. 免維護設計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應用.
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統集成, 幾乎滿足所有應用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥大烘烤溫度 250°C
全部美國設計, 制造, 組裝, *
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數:
閥門材質: | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關閉 | 2 bar (任意位置) |
- 開啟前大壓力 | ≤ 1 bar |
烘烤溫度(不含電磁閥): | |
- 佛橡膠密封 | 150 °c, 可選配置大 250 °c |
- 驅動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
- 氣體 | 80 psig (5.5 bar) |
- 電磁 | 4.0 Watts |
- 供電 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,大 | 115 VAC |
使用壽命: > 250,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 50 - 200 mm |
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
HVA 真空閘閥,VAT插板閥
HVA 真空閘閥,VAT插板閥
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