技術(shù)特色：

• Fischione 微束定點(diǎn)離子減薄系統(tǒng) 1040*聚焦微束惰性氣體離子束

• 極低修復(fù)電壓：50 eV

• 聚焦束斑直徑：1μm

• 定位精度高，去除非晶層且不產(chǎn)生再沉積現(xiàn)象

• 采用氬離子束激發(fā)二次電子成像同時(shí)實(shí)現(xiàn)修復(fù)及定位

• Fischione 微束定點(diǎn)離子減薄系統(tǒng) 1040離子束可以對(duì)準(zhǔn)定點(diǎn)位置或在一個(gè)選定的區(qū)域進(jìn)行進(jìn)行精細(xì)修復(fù)

• 配備液氮冷臺(tái)，去除熱損傷

上海微納貿(mào)易有限公司作為專業(yè)納米科技解決方案供應(yīng)商，致力于半導(dǎo)體設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室理化分析設(shè)備、電子顯微鏡及配套設(shè)備的銷售與生產(chǎn)，目前是美國(guó)Fischione公司、LatticeGear公司及IBSS公司中國(guó)區(qū)總代理，負(fù)責(zé)產(chǎn)品在中國(guó)的銷售與售后服務(wù)，同時(shí)提供本土化電鏡原位及制樣設(shè)備解決方案，滿足科研及工業(yè)用戶的應(yīng)用需求。