全自動(dòng)精密研磨拋光裝置是整合了顯微鏡、CCD數(shù)碼相機(jī)和圖像處理系統(tǒng)的全自動(dòng)研磨拋光系統(tǒng)，其應(yīng)用于半導(dǎo) 體行業(yè)中電鏡樣品的制備，特別是橫截面樣品制備和平面樣品的減薄。相對(duì)于
傳統(tǒng)的制樣模式，全自動(dòng)精密研磨拋光裝置可在短時(shí)間內(nèi)同時(shí)完成多個(gè)樣品的制備工作，大大提高
制樣工作的效率和質(zhì)量。

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