靶材材質 | 詳詢 | 靶材尺寸 | 0mm |
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
濺射氣體 | 氣體 | 控制方式 | 觸摸屏控制 |
樣品倉尺寸 | 0mm | 樣品臺尺寸 | 50mm |
應用領域 | 電子 |
小型臺面式熱蒸發鍍膜儀是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
小型臺面式熱蒸發鍍膜儀技術參數:
控溫方式 | 數字式功率調整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
大功率 | ≤800W |
大輸出電壓電流 | 電壓≤10V 電流≤80A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
樣品室 | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品熱源調節距離 | 70-140mm |
蒸發溫度調節 | ≤1600℃ |
蒸發坩堝容積 | 3ML |
真空法蘭 | KF25抽氣口 KF25擴展口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 1 膜厚在線測試 2 分子泵
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