Transpector CPM 氣體分析系統
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- 公司名稱 英福康（廣州）真空儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2020/6/21 8:53:03
- 訪問次數 192
產品標簽
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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環保,化工,生物產業 |
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特征概覽:
- Transpector CPM 氣體分析系統用于監測復雜工藝制程四極質譜分析儀系統，檢測范圍：0-100，0-200和0-300amu
- 允許7天24小時連續監控，提高產品良率及產能，降低生產成本
- 緊湊型設計可安裝于每個高壓強真空系統
- HexBlock TM 取樣系統使系統性能佳化
- 內置壓力傳感器（CDG），用于工藝壓強監測和提供聯鎖保護
- 備用可選的標準氣體，用于調諧和校正
- 封閉式離子源可阻擋腐蝕性氣體和反應性氣體，并可檢測ppm量級的污染物
- 重量輕，易搬運
Transpector CPM 氣體分析系統應用：
- 高壓強真空系統（< 2個大氣壓）檢漏，氣體純度，污染檢測，工藝制程監控及刻蝕終點探測 （Endpoint），涉及領域：材料，傳統高壓強真空系統，半導體，平板顯示器及太陽能等行業PVD，CVD及刻蝕系統
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