CS300氣體質量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌 七星華創
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2020/6/20 9:43:44
- 訪問次數 5858
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北京華丞電子有限公司（以下簡稱“華丞電子”）是由北京七星華創流量計有限公司、北京七星華創集成電路裝備有限公司及北方華創微電子裝備有限公司射頻業務單元整合而成的工業領域核心零部件及解決方案科技企業，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業領域的科技前沿，集聚了多項先進零部件技術核心人才，致力于成為一家全面的工業零部件解決方案供應商。
華丞電子傳承了數十年在流量測控、射頻技術和自動化設備等領域的專業優勢，技術積和創新能力。產品迭代升級的同時，華丞電子依據客戶新的產品需求不斷探索研究，深挖技術，創新產品，拓寬產品線，形成了流量測控、壓力測控、氣路系統、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統、自動化裝備等系列產品，為半導體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領域提供解決方案。華丞電子布局六大研發/生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創電子科技領域的新篇章，為構建智慧社會貢獻我們的力量。
氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 綜合 |
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。
CS300氣體質量流量控制器優勢：
• 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間*快≤ 0.5sec。
• CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• 產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。
技術參數
CS300 | ||||||||
型號 | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
閥類型 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 |
流量規格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
準確度 |
| |||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
響應時間 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
溫度系數 | 零點：≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
耐壓 | 3.5 MPa | |||||||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
密封材料 | 金屬密封 | |||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||
工作環境溫度 | （0～50）℃ | |||||||
輸入信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數字：RS485 或 DeviceNet | 無 |
輸出信號 | 數字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 | |||||||
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) | |||||||
表面化學成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | ||||
電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 | |||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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