產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,生物產業,農業,電子 |
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雅馬拓等離子清洗機V1000產品特點:
■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型,DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器,可對應更多復雜工藝.
●標準配備電離式真空計,實時顯示真空度,使得控制更為accurate。
●液晶觸摸屏控制,操作使用簡單,調取數據簡單。
■安全性·保護
●標準配備真空泄漏檢測功能,可以根據需要檢查設備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發生器,以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
●發生器保護回路:超負荷或者RF發生器發生問題時,可自動調低頻率來保護發生器。
●門鎖開關:門在未*關閉時無法啟動電源。
●側板鎖:本體側板突然打開或者未關好時,會停止電源。
●緊急停止按鍵(EMO)標準配備。
●當裝置發生異常時,裝置本體發出警告信號的同時,進行以下動作1)關閉主閥。(2)關閉供氣閥。(3)停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。(5)聲光報警
■產品優勢
●清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理,可對應更復雜的工藝。
●搭載高精度適配器,高性能RF電源。
●可變電極構造提高等離子處理效果。
●安全保護措施綿密,有效防止對機器以及樣品的損害。
●可根據需求的具體情況提供產品定制服務。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有機物去除。
●界面活性處理。
●表面污染物去除
雅馬拓等離子清洗機V1000產品參數:
型號 | V1000 | |
方式 | DP&RIE雙模標準裝備 | |
性能 | 發生器功率: | 0-1000W |
發生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | |
發生器匹配方式: | 自動匹配(Automatching) | |
構成 | 腔體材質: | 鋁制腔體 |
腔體內尺寸: | 400×400×384mm約61.4L | |
電極尺寸: | 300mm×300mm | |
反應氣體: | 雙路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體 | |
填充氣體: | 一路氮氣 | |
控制方式: | 全自動控制,5.7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示: | 測量高真空的電離式真空計標準配備,實時顯示腔體內真空度 | |
配管材質: | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門: | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色: | 標準色,白系 | |
外形尺寸: | W700×D800×H1600mm(高度含警報燈) | |
真空泵: | 無油干式真空泵抽速100m3/hour,吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
電源規格: | 3phaseAC200V50/60Hz8A | |
重量: | 約215kg | |
附屬品 | 真空管件一套、真空轉接接頭一套 |