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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>臨界點干燥儀>Automegasamdri-915B 美國臨界點干燥儀

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Automegasamdri-915B 美國臨界點干燥儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Automegasamdri-915B
  • 產地 美國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/5/17 9:27:39
  • 訪問次數 3319

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半導體化工領域專業實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創新精神的高科技公司,專業提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優質專業的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。



勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產地類別 進口 應用領域 電子

美國臨界點干燥儀Automegasamdri®-915B,系列B

特點:

6”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀;

潔凈室和防靜電兼容設計;

通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性;

所有內表面均適用于液態二氧化碳、高純乙醇和丙酮;

可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性;

每個操作模式LED顯示,一目了然;

集成自動控溫;

內置圓盤裂片保證安全;

可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);

靜態壓力控制模塊,自動控制系統壓力和保持壓力穩定性;

0.4μm內部過濾器系統輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;

內腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內部狀態;

擁有高效隔熱的冷卻系統,使系統能夠迅速從室溫降到將近0°C;

標配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。

樣品室填塊可以調整樣品室內徑到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間;

所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;

 

美國臨界點干燥儀規格:

外部尺寸:寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長25.0” (63.5cm);

占地尺寸:寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm);

樣品室尺寸:內徑6.50” × 深1.25”,樣品室容積:679 ml;

溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;

LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制;

120V/50-60HZ(可選其他電壓);

 

 

標準配件:

高壓不銹鋼LCO2管(內襯Teflon) 3 米長;

外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;

SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;

防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;

內部的不銹鋼過濾系統和鍍鎳的過濾系統共同保護線路、晶片和閥門

樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,5A保險絲2個;

4個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6”、4、3、2和1.25英寸;

直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;

流量計,可準確控制BLEED的排氣速率;

用戶手冊;

所有部件一年質保。



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