技術參數

1、機臺整機規格

750(W)×550(H)×650(D)mm

2、真空室規格

進口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm

3、電極板規格

鋁電極 330(W)×315(D)mm

4、真空電極結構

水平電極板 6層

5、真空泵系統

OKSUN機械旋片真空泵/愛德華干式真空泵

6、PLC自動控制系統硬件

工控可編程控制器及擴展模塊(D/A轉換、A/D轉換）德國西門子

7、人機工控系統

觸摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人機工程軟件

奧坤鑫科技自主研發

9、真空測定系統

皮拉尼電阻式真空計，日本愛發科

10、真空供氣系統

Ф6品牌軟管，國產品牌

11、真空排氣系統

全不銹鋼管路+波紋管，國產

12破真空系統

電磁閥式，日本

13、氣體控制系統

電磁閥控制，日本

14、氣體計量系統

精確質量流量控制計：MFC，SevenStar

15、等離子發生器

0-500w連續可調（13.56MHz）、OKSUN

16、其他組件

國內外元器件

1、機臺總重

約40kg

2、額定功率

額定功率 1KW

3、機臺供電

AC-380V

4、腔體容積

進口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm

5、電極板數量

水平電極6層

6、單層處理大面積

330(W)×315(D)mm

7、單次處理時間

工藝不同，處理時間不同,表面活化改性5-10分鐘內

8、工作真空度

20-50Pa

9、真空泵極限壓力

5.0X10-1Pa

10、抽真空時間

≤60秒（空載測試）

11、破真空時間

＜40秒（空載測試）

12、等離子發生器功率

0-500W, 全自動匹配

13、供氣方式

電磁閥式

14、流量計調節范圍

0-300sccm（毫升/分鐘）

15、操作方式

人工取放工件，一鍵啟動自動控制