一、靈敏度、準確度及精密度

·       緊湊的HighSense光路

HighSense光路，陽極—樣品—探測器之間距離

·       HighSense固態發生器

采用模塊化設計的固態發生器，穩定性優于±0.00005%

·       HighSense低溫X射線光管

雙路水冷系統，除陽極冷卻外，光管頭部增加冷卻回路，避免光管頭部熱量對樣品的影響，提高易揮發元素及低熔點樣品測量的穩定性。提高了分析液體樣品、低熔點樣品的安全性。此外在陰極與鈹窗之間增加隔板，避免蒸鍍現象

·        HighSenseTM探測器技術及動態匹配TM功能 

HighSenseTM流氣正比計數器和閃爍計數器，死時間校正，顯示PHA掃描圖，數字信號傳輸，線性范圍4Mcps（線性偏差≤1%）。 

·       HighSense微區分析系統XRF2

·       透光性的真空封擋

         光學定位測角儀

·       變動理論α系數法

·       未知燒失量校正

         角度偏移校正

·       幾何校正

·       制樣校正軟件

·       穩定的光譜室

·       采用真空度控制測量