• 高品質的圖像
  通過改進電子光學系統，使圖像質量更高，成像和分析更快。
  

• 減少了充放電現象
  新的掃描方式能抑制非導電性樣品的荷電效應。

• 低真空模式(LV)
  低真空壓力范圍從10 Pa 至 650 Pa，拓寬了可以觀察的樣品材料的范圍。
  

• 樣品臺導航系統
  全自動5 軸馬達驅動樣品臺提高了尋找感興趣的區域（ROI）的速度。使用導航系統（選配件）在彩色圖像上能迅速到達感興趣的區域。

• 分析
  在高電流模式下，束流電流可高達1 μA ( 加速電壓≥20 kV) 。
  高性能的可變焦聚光鏡大限度地減少了因探針電流改變而引起的圖像和焦點漂移。
  計算機控制的全對中樣品臺旋轉 ，能很容易地對樣品或感興趣的區域定位。

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多功能

• 大型樣品室和樣品臺
  能容納大型、較重的樣品，可裝載大尺寸為200 mm（φ）× 80 mm（ H）、重達2 kg 的樣品。

• *幾何設計的分析接口
  多個接口可以安裝EDS、EBSD 和WDS 等附件， EDS 和EBSD 處于同一平面，此外，還能安裝兩個相隔180 度的EDS 檢測器用于高通量的顯微分析。

• 移動迅速的樣品臺
  新開發馬達驅動樣品臺能快速地定位 ( 與其它JEOL 的產品相比快1.5 倍）。

• 全自動5 軸馬達驅動樣品臺
  采用了機械對中、五軸（X、 Y,、Z、T、R) 異步馬達控制的樣品臺，當觀察厚樣品或當感興趣區域(ROI) 不在傾斜軸的中心時，可利用標配的計算機控制的全對中傾斜和旋轉校正功能。

• 全新的真空系統
  全新的真空系統縮短了樣品交換后抽真空的時間，使低真空模式下的信號更好。

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直觀的操作

• 觸摸屏界面
  新設計和開發的圖形用戶界面（GUI）使操作更加舒適，還能支持觸摸屏操作。 用戶界面的大小可以調節，因此在分析或數據處理時，可以優化工作空間。
  

• 多用戶、多任務
  多用戶登錄功能，可用于自定義工作區和樣品條件的設置。

• 支持多語言
  用戶界面語言可以在日語和英語間切換( 通過圖標選擇)。

產品規格

＊Windows7® 為美國微軟公司的注冊商標。

※1　LV 和LA 型為標配
※2　測量需要的軟件