SYSC-100A 高精度程控勻膠機
一. 產品應用
SYSC-100A 高精度程控勻膠機(Spin Coater),又稱為旋轉涂膜儀,是一代旋轉涂膜設備。具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二. 產品特點
1. 旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機。
2. 優異的旋轉加速性能,Z大旋轉加速度可達40000rpm/s(有負載的真實加速度)。
3. 兩項安全互鎖功能:
(1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能,確保腔體關閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造**身傷害;
(2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。
4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料,經CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料,經CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程Z多可分十段進行,每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調。可儲存50組工藝程序,隨時調用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態及各項參數實時顯示,更直觀了解勻膠進程;
9. 真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制,無需手動操作。
10. 旋轉前增加預吸片步驟,“預吸片時間”Z多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時間”Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。
11. 標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺,防止飛片。
三. 技術參數
產品型號SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸?10~100mm
旋轉速度10~8000rpm
轉速分辨率1rpm
速度精度<0.02%
旋涂加速度*0~40000rpm/s
每段加速時間999.9s
每段旋涂時間9999.9s
時間分辨率0.1s
預吸片時間99s
解吸片時間99s
**大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?50mm基片)的真實加速度.
PCM話路特性測試儀 型號:GT2B
詳細介紹
GT2B型PCM話路特性測試儀主要特點:
● 手持式話路特性分析儀;
● 全中文菜單,大屏幕顯示,操作簡便;
● 可進行多任務工作(可以邊測試邊翻閱以前的記錄);
● 內建測試模板,圖形顯示;
● 內置直流環路饋電電路和直流環路保持電路;
● 符合人體工程學的設計,智能導航式中文操作界面,操作簡單方便;
● 大屏幕液晶顯示,320×240點陣,LED背光;
● 帶高速微型打印機和外接打印機接口;
● 嵌入式軟件可在線升級。
基本功能:
● 點電平、頻率特性、電平特性、量化失真、空閑噪聲、路際串話、回波衰耗、對地平衡度測試;
● 端對端測試,環回測試;
● 單路或30路自動測試,并以報表形式打印
● 全自動模式、手動模式,全自動模式可選擇測量指標中的一項、幾項或全部,測試步長可編程;
● 可存儲多達60組測量結果;*高達9個測試設置存儲;并可進行掉電記憶;
● 內置發生器和接收器,輸出口和接收口分別帶有直流環路饋電電路和直流環路保持電路,不僅可測E&M二/四線接口,還可測LGE、FXO,LGS、FXS接口;
● 測試結果圖形顯示,可以和內建的ITU-T標準模板比較,合格與否一目了然;
● 存儲測量結果可以上傳至PC機,進行分析、整理、歸檔、打印輸出.
技術指標:
● 發生器 信號頻率:100Hz~4000Hz,步長10Hz
輸出電平:+6~-61dBm0,步長1dB
相對電平:+1~-17dBr,步長0.1dBr
失 真 度:在1020Hz/0dBm0,≥50dB
頻率響應:±0.1dB
輸出阻抗及回波損耗:在200~3600HZ內輸出阻抗為600Ω,回波損耗≥36dB
輸出平衡度:在200~3600Hz內平衡度≥60dB
● 接收器
·電 平 頻率范圍:200Hz~3600Hz
電平范圍:+13dB~-78dB,其中 dBm0為 +6~ -61dBm0, dBr為+7~-17dBr
測量誤:0dBm0點為±0.2dB,其它各點為±0.3dB
參考信號:1020Hz/-10dBm0
·頻率響應 參考信號:1020Hz/-10dBm0
頻率范圍:200Hz~3600Hz
測量范圍:-60dB~+60dB
測量精度:±0.2dB
·電平特性 參考信號:1020Hz/-10dBm0
電平范圍:+5dBm0~-60dBm0
測量范圍:-60dB~+60dB
測量誤差:±0.2dB
·空閑噪聲 輔助信號: 關閉
測量范圍:-90dBm0 p~+5dBm0 p,ITU-T加權
測量誤差:-90 ~ -75dBm0p:±2.5dB
-75 ~ -70dBm0p:±1.5dB
-70 ~ +5dBm0p:±1dB
·路際串話 主串信號: 1020Hz/0dBm0
測量范圍: -90dBm0~+5dBm0
誤差范圍: ±1 dB
·量化失真 參考頻率:820Hz;
電平范圍:+5dBm0~-60dBm0
測量范圍:0~60dB,ITU-T加權
測量精度:±0.8dB
·回波衰耗 測試用信號頻率范圍:200Hz~3600Hz,電平0dBm0
測量范圍:0dB~62dB
測量誤差:±1dB
·對地平衡度 測量用信號頻率范圍:200Hz~3600Hz,電平:0dBm0
測量范圍:0dB~82dB
測量誤差:±1dB
·輸入阻抗及回波損耗:在200~3600HZ內輸入阻抗為600Ω,回波損耗大于等于36dB;
·輸入平衡度:在200~3600Hz內平衡度大于等于60 dB;
·接口平衡:600Ω,200Ω+560Ω//0.1UF ; 200Ω+680Ω//0.1UF;
·相對電平:-17~+7dBr,步長0.1dBr;
·直流環路:IGT動態阻抗 >100KΩ,環路電流*大60mA,環路壓降約為-15V;
OGT動態阻抗>100KΩ,饋電電流恒流22mA。
其它參數:
● 供電:
(1)本儀表專用電源適配器
INPUT:AC220V 50Hz
OUTPUT:DC 9V 1A
(2)儀表內部充電電池
4000mAh 6V 鎳氫可充電電池
工作時間:6小時
充電:關機時充電8小時;開機時充電12小時
● 打印機:μP40-TS(CH)標準電平串口漢字微型打印機(選配)
● 尺寸和重量:
長×寬×高:220×162×48mm
重 量:1kg
● 環境參數:
操作溫度: 0~40℃
儲藏溫度: -20~+70℃
濕 度: 5%~90%非凝結