發射掃描電子顯微鏡ReguluS
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 似空科學儀器(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2023/5/24 7:58:32
- 訪問次數 1976
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價格區間 | 面議 | 儀器種類 | 場發射 |
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應用領域 | 電子 |
"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。
通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現有機型相比提高了20%左右。
此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的*性能。
*1
僅限Regulus8240/8230/8220
- 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的*性能
- 與現有機型相比分辨率提高了20%左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
- 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V
超高分辨觀察
樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV
*2
僅限Regulus8240/8230/8220
發射掃描電子顯微鏡ReguluS規格:
項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
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二次電子分辨率 | 0.8 nm (加速電壓15 kV) 1.1 nm (著陸電壓1 kV)*3 | 0.7 nm(加速電壓 15 kV) 0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*3 | |||||
著陸電壓 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
放大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | |||||
樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺(可選5軸馬達臺) | 5軸馬達驅動 | ||||
移動范圍 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
再現性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm |
*3
減速模式下觀察
*4
以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率