化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>鍍膜機(jī)>TEMD500/600 電子束鍍膜設(shè)備
TEMD500/600 電子束鍍膜設(shè)備
- 公司名稱(chēng) 北京泰科諾科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) TEMD500/600
- 產(chǎn)地 北京昌平
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/8/8 9:51:08
- 訪問(wèn)次數(shù) 248
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蒸發(fā)鍍膜設(shè)備,磁控鍍膜設(shè)備,電子束鍍膜設(shè)備,熱絲CVD設(shè)備,高真空退火爐,裝飾鍍膜設(shè)備
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,汽車(chē),電氣 |
1、產(chǎn)品特點(diǎn)/用途:
?電子束鍍膜設(shè)備一體化設(shè)計(jì),占地面積小,性價(jià)比高,性能穩(wěn)定,使用維護(hù)成本低;
?電子束鍍膜設(shè)備適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機(jī)膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等;
?適用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。
2、技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | TEMD500/TEMD600 |
真空腔室結(jié)構(gòu) | 立式圓柱形側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng) |
真空腔室尺寸 | Φ500×H650mm/Φ600×H750mm |
加熱溫度 | 室溫~300℃ |
旋轉(zhuǎn)基片臺(tái) | 平板型Φ200mm/平板型Φ350mm(或球罩型基片臺(tái)) |
膜厚不均勻性 | ≤±5.0% |
考夫曼離子源 | 可選 |
蒸發(fā)源 | 電子槍8KW,6穴坩堝 國(guó)產(chǎn)進(jìn)口可選,配3-3組電阻蒸發(fā) |
控制方式 | PLC+觸摸屏人機(jī)界面半自動(dòng)控制系統(tǒng) |
占地面積 | 長(zhǎng)×寬 L2500×W1600mm |
總功率 | ≥17KW |