產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領域 | 電子,冶金,航天,電氣 |
1、產(chǎn)品特點/用途:
? 高品質太陽能電池制備系統(tǒng)一體化設計,占地面積小,*,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;
? 高品質太陽能電池制備系統(tǒng)配備4~6組蒸發(fā)源,兼容有機蒸發(fā)與無機蒸發(fā),多元共蒸獲得復合膜/分蒸獲得多層膜,功能強大,性能穩(wěn)定;
? 適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、有機膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等;
? 適用于蒸發(fā)鍍膜與手套箱環(huán)境有機融合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝無縫對接,廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池/OPV有機太陽能電池及OLED薄膜等研究系統(tǒng)等。
2、技術參數(shù):
型號 | ZHDS400 |
鍍膜方式 | 多源蒸發(fā)鍍膜 |
真空腔室結構 | 方箱式前后開門;配置手套箱 |
真空腔室尺寸 | L400×W440×H450mm |
加熱溫度 | 室溫~300℃ |
旋轉基片臺 | 120mm×120mm |
基片臺升降 | 手動調(diào)節(jié)升降高度0~80mm |
膜厚不均勻性 | ≤±5.0% |
蒸發(fā)源 | 2組金屬源,2~4組有機源 |
控制方式 | PLC/PC自動控制系統(tǒng)可選 |
占地面積 | 主機L1100×W780×H1800mm,手套箱尺寸定制 |
總功率 | ≥10KW |