產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
1、產品特點/用途:
?多靶磁控濺射鍍膜設備可濺射/蒸發兩用;占地面積小,價格便宜,性能穩定,使用維護成本低;
?多靶磁控濺射鍍膜設備可用于制備單層及多層金屬膜、介質膜、半導體膜、磁性膜、傳感器膜及耐熱合金膜、硬質膜、耐腐蝕膜等;
?鍍膜示例:銀、鋁、銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、ITO、二氧化硅等;
?單靶濺射、多靶依次濺射、共同濺射等功能。
2、技術參數
型號 | JCP500 |
真空腔室結構 | 立式前開門結構,后置抽氣系統 |
真空腔室尺寸 | Φ500×H420mm |
加熱溫度 | 室溫~500℃ |
濺射方式 | 上下濺射可選 |
旋轉基片臺 | Φ150mm |
膜厚不均勻性 | Φ100mm范圍內≤±5.0% |
濺射靶/蒸發電極 | Φ3英寸磁控靶3支,兼容DC/MF/RF濺射 |
工藝氣體 | 2~3路氣體流量控制 |
控制方式 | PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統 |
占地面積 | (主機)L1900×W800×H1900mm |
總功率 | ≥10KW |