ST5000 自動型防震臺（含PC）膜厚測量儀規格                              
 波長范圍  400~800nm
 測量范圍  100?~ 35?(Depends on Film Type)
 透鏡大小  M5x,M10x,M20x
 測量光斑尺寸  40?，20?，10?
 測量層數 3

 樣品臺尺寸 300mmX300mm
 X,Y軸重現性,±2.5?

Z軸重現性 ±2?

ST5000 自動型防震臺（含PC）膜厚測量儀可選部分 
 SRM(標準參考樣片)
 光學透鏡 M50X(光斑尺寸:4?)
 樣品臺可擴至370mmX470mm

產品特征                              
快速測量&操作簡便
非接觸&非破壞性
良好的重復性和再現性
測量可達3層&測量精度良好
自動平臺控制&自動聚焦功能
具有2D/3D繪制圖與曲面輪廓
需加防震臺

應用領域                              
半導體:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介質材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏間隙，光刻膠與酰亞胺薄膜，石英
Optical Coating:Hardness涂層，增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料：光感導鼓，攝像頭，光盤...
其他：示波管上的光阻薄膜材料與掩膜板，薄金屬膜，激光鏡,ALQ3...