3D高速直寫機 瑞士NanoFrazor 3D納米結構高速直寫機
- 公司名稱 深圳市藍星宇電子科技有限公司
- 品牌
- 型號 3D高速直寫機
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2019/7/21 18:02:19
- 訪問次數 204
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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NanoFrazor 3D納米結構高速直寫機 源自IBM新研發成果 |
NanoFrazor納米3D結構直寫機的問世,源于發明STM和AFM的IBM蘇黎世研發中心,是其在納米加工技術的新研究成果。NanoFrazor納米3D結構直寫機*次將納米尺度下的3D結構直寫工藝快速化、穩定化。 |
NanoFrazor采用*直徑為5nm的探針,通過靜電力精確控制實現直寫3D高精度直寫,并通過懸臂一側的熱傳感器實現實時的形貌探測。相對于其他制備技術如電子束曝光/光刻技術(EBL), 聚焦離子束刻蝕(FIB)有以下特點: | |
■ 3D納米直寫能力 高直寫精度 (XY: 10nm, Z: 1nm) 高速直寫 20 mm/s 與EBL媲美 ■ 無需顯影,實時觀察直寫效果形貌感知靈敏度0.1nm 樣品無需標記識別,多結構套刻,對準精度 5nm ■ 無臨近效應 高分辨,高密度納米結構 ■ 無電子/離子損傷 高性能二維材料器件 ■ 區域熱加工和化學反應 多元化納米結構改性 ■ 大樣品臺 100mm X 100mm |
新產品發布:NEW!! | NanoFrazor Scholar --小面積直寫 |
■ 3D納米直寫能力 高直寫精度 (XY: 30nm, Z: 1nm) 高速直寫 10 mm/s ■ 無需顯影,實時觀察直寫效果形貌感知靈敏度0.1nm 樣品無需標記識別,多結構套刻,對準精度 10 nm ■ 無臨近效應 高分辨,高密度納米結構 ■ 無電子/離子損傷 高性能二維材料器件 ■ 區域熱加工和化學反應 多元化納米結構改性 ■ 小樣品臺 30mm X 30mm |
該技術自問世以來已經多次刷新了世界上小3D立體結構的尺寸,創造了世界上小的馬特洪峰模型,小立體世界地圖,小刊物封面等世界記錄。 |
*的直寫與反饋流程 | |
PPA(聚苯二醛) 直寫膠涂敷在樣品表面。 背熱式直寫探針,微區電阻式加熱針尖。與針尖接近的PPA受熱瞬間分解,周圍部分由于PPA熱導率低而不受影響。 熱針震動模式直寫,直寫時探針加熱,每次下針幅度受靜電力控制,垂直精度 1 nm,從而寫出3D圖形。 冷針接觸模式掃描,回程掃描時探針冷卻,由側壁的熱感應器探測樣品高度變化(精度0.1nm), 獲得樣品形貌。反饋數據修正下一行直寫。 |
*的直寫針尖設計 |
普通的AFM針尖無法滿足上述NanoFrazor直寫流程的需求,因此NanoFrazor所用針尖是由IBM專門研發設計的。該針尖具有兩個電阻加熱區域,針尖上方的加熱區域可以加熱到1000oC。 第二處加熱區域作為熱導率傳感器位于側臂處,其能感知針尖與樣品距離的變化,精度高達0.1 nm。因此在每行直寫進程結束后的回掃結構時,并不是通過針尖 起伏反饋形貌信息,而是通過熱導率傳感器感應形貌變化,從而實現了比AFM快1000余倍的掃描速度,同避免了針尖的快速磨損消耗。 |
NanoFrazor技術特點 |
其他功能 ● 納米顆粒有序定位排列 ● 納米局部化學反應誘導 ● 表面化學圖案、結構生成 | 納米顆粒有序定位排列 | 氧化石墨烯的定位還原 |
圖形轉移 通過NanoFrazor3D納米結構直寫機獲得的納米圖形結構,可以通過傳統成熟的工藝技術,如干法刻蝕,電鍍、注射成型法等進行圖形轉移。 |