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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>其它實驗室常用設備>其它實驗室設備>HBO 200W/DC SUSS光刻機用曝光燈

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HBO 200W/DC SUSS光刻機用曝光燈

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藍星宇科技專業研發設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機等儀器設備。引進日本,德國,韓國*技術,設備已獲得眾多院校,研究所,高科技企業等客戶*認可。

  同時我們專注進口科學儀器設備及材料,主要代理有國 Heidelberg 海德堡光刻機,美國 OAI 光刻機,德國 Raith 電子束光刻機,英國 Durtham 無掩膜光刻機,美國 Trion 刻蝕機.沉積機,德國 Sentech 刻蝕機.沉積機,德國 Optosol 吸收率發射率檢測儀,日本 SEN  UV清洗機.UV清洗燈,美國Jelight UV清洗機,美國 Nano-master 晶圓清洗機,美國 Arradiance 原子層沉積機,德國 WL 微波離子沉積機德國 Iplas 微波離子沉積機美國量子科學 Quantum 綜合物性測量系統,德國 Diener 等離子清洗機等*技術產品并可依據客戶需求,研發定制相關儀器及材料。

光刻機,鍍膜沉積機,刻蝕機,UV清洗機,實驗檢測儀器,UV燈

產地類別 進口 應用領域 電子

SUSS MicroTecv美國蘇斯公司生產的半導體和太陽能行業用光刻機,目前得到業界的廣泛認同,該系列光刻機曝光系統的曝光燈,主要是由德國歐司朗公司生產的曝光燈進行配套供應。歐司朗曝光燈系列,具備良好的光通量,穩定的光強度以及優質的品質受到業界的青睞。

 

目前供蘇斯光刻機配套的相關參數如下:

 

  HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

 

Lamps for SÜSS  Equipment

Lamp type

Max life[h]

Equipment(適用機型)

HBO 200W/DC

1000

MJB3,MJB4

HBO 350W/S

600

MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D

1000

MA150,MA200,MA4,MA6,MA8

HBO 5000W/S

1000

MA300

 

 

以下是歐司朗曝光燈的技術參數:



化工儀器網

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