EBPG5150 德國Raith EBPG5150 電子束光刻機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳市藍星宇電子科技有限公司
- 品牌
- 型號 EBPG5150
- 產地 德國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2019/7/13 16:06:10
- 訪問次數(shù) 1719
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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EBPG5150 電子束光刻機 | |||
EBPG5150使用了155mm大小的樣品臺，采用跟EBPG5200一樣的通用光刻平臺設計，對電子束直寫應用進行了優(yōu)化。它可以載入不同大小的樣品,包括多片散片以及完整的硅片。 00001. 高束流密度，熱場發(fā)射電子槍可以在20、50和100kV之間切換 00002. 155mm的平臺 00003. 小曝光特征尺寸小于8nm 00004. 高速度曝光，可采用50或100MHz的圖形發(fā)生器 00005. 在所有KVs加速電壓下，可連續(xù)改變的寫場大小，大可以到1mm 00006. GUI人機交互界面友好，簡潔易用，適用于多用戶環(huán)境 00007. 多項靈活可選擇的配置，可以適用于不同應用的需求 可選的系統(tǒng)增強升級EBPG5150可以選擇不同的升級選項，以滿足用戶不同的技術和預算需求。讓*的高校等研究類用戶也可以使用這款非常*、高自動化的電子束光刻系統(tǒng)。 EBPG5150 應用·
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