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Pioneer Two 德Raith Pioneer Two 電子束光刻機

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藍星宇科技專業研發設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機等儀器設備。引進日本,德國,韓國*技術,設備已獲得眾多院校,研究所,高科技企業等客戶*認可。

  同時我們專注進口科學儀器設備及材料,主要代理有國 Heidelberg 海德堡光刻機,美國 OAI 光刻機,德國 Raith 電子束光刻機,英國 Durtham 無掩膜光刻機,美國 Trion 刻蝕機.沉積機,德國 Sentech 刻蝕機.沉積機,德國 Optosol 吸收率發射率檢測儀,日本 SEN  UV清洗機.UV清洗燈,美國Jelight UV清洗機,美國 Nano-master 晶圓清洗機,美國 Arradiance 原子層沉積機,德國 WL 微波離子沉積機德國 Iplas 微波離子沉積機美國量子科學 Quantum 綜合物性測量系統,德國 Diener 等離子清洗機等*技術產品并可依據客戶需求,研發定制相關儀器及材料。

光刻機,鍍膜沉積機,刻蝕機,UV清洗機,實驗檢測儀器,UV燈

應用領域 電子

德Raith Pioneer Two 電子束光刻機
 

詳細介紹

Pioneer Two 電子束光刻機:

德 Raith Pioneer Two 電子束光刻機.png
 


  1. 系統適用于2"及以下的樣片,采用熱場發射電子槍,加速電壓為20V~30kV。可實現高分辨電子束曝光,小驗收線寬≤8nm
    2.       系統中集成了高精度的激光干涉工作臺,運動行程為50 x 50 x 25mmXY方向定位精度為2nm,可以實現精確的拼接套刻,拼接套刻精度≤50nm
    3.       系統兼具了高精度成像度量的功能,其成像效果和市面上中的熱場電鏡類似,放大倍數為20x ~1,000,000x 
    4.       另外,除了標準配置客戶還可以增加一些選配件,如選配背散射探測器、能譜儀等,進行材料分析;選配工作臺旋轉傾斜模塊,實現不同角度的材料成像等。如果選擇相應的選配件,請增加相應的價格。

 

   



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