Automegasamdri-915BSeries C臨界點干燥儀特點：

• 6”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點干燥儀；
• 內部高效隔熱的冷卻循環系統，使系統能夠迅速從室溫降到將近0°C；
• Post-Purge 過濾器容易更換及維護；
• 內置SOTER^TM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
• *的樣品室填塊可以調整樣品室內徑到4"、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間達到大化;
• 可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶，更換樣品架，也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）；
• 內腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內部狀態；
• 通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性；
• 所有內表面均適用于液態二氧化碳、高純乙醇和丙酮；
• 可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性；
• 集成自動控溫；
• 內置圓盤裂片保證安全；
• 靜態壓力控制模塊，自動控制系統壓力和保持壓力穩定性；
• 0.4μm內部過濾器系統輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室；
• 每個操作模式LED顯示，一目了然;
• 潔凈室和防靜電兼容設計；
• 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準；

Automegasamdri-915BSeries C臨界點干燥儀規格：

• 外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；
• 安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；
• 樣品室尺寸：內徑6.50” × 深1.25”，樣品室容積：679 ml;
• 溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；
• LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制；
• 120V/50-60HZ(可選其他電壓)；

標準配件：

• 高壓不銹鋼LCO2管（內襯Teflon） 3 米長；
• 外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過濾裝置可預先與LCO2管連接，安裝方便；
• 安裝工具；
• 防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣；
• 內部的不銹鋼過濾系統和鍍鎳的過濾系統共同保護線路、晶片和閥門
• 樣品室O型圈3個，樣品室照明燈2個，3A和8A保險絲各2個；
• 4個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6、4、3、2和1.25英寸;
• 直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容；
• 流量計，可精確控制BLEED的排氣速率；
• 用戶手冊；
• 所有部件一年質保。