XEIA3掃描電鏡 XEIA3掃描電鏡
- 公司名稱(chēng) TESCAN泰思肯貿(mào)易(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) XEIA3掃描電鏡
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2019/6/13 11:23:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 626
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 冷場(chǎng)發(fā)射 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保 |
XEIA3掃描電鏡集非凡的超高分辨成像能力和優(yōu)異的微細(xì)加工于一體。強(qiáng)大且超快速的微/納米 FIB 加工、低能電子束下的超高分辨率(UHR)、超快且可靠的微量分析和三維重構(gòu)功能,使得 XEIA3 成為一款理想易用的 FIB-SEM 系統(tǒng)。隨著 XEIA3 的問(wèn)世,TESCAN 不僅躋身儀器供應(yīng)商之列,還履行了其致力于繼續(xù)幫助科研人員推動(dòng)科學(xué)研究與進(jìn)展的承諾。TESCAN 的定制化系統(tǒng)能滿足各類(lèi)客戶的具體需求。從材料科學(xué)到生命科學(xué),從材料工程到半導(dǎo)體行業(yè),TESCAN 的設(shè)備一直都表現(xiàn)出的高性能。
XEIA3掃描電鏡
突出特點(diǎn)
Triglav™ -新型超高分辨率 ( UHR ) 電子光學(xué)鏡筒
- TriLens™物鏡系統(tǒng):電子束無(wú)交叉模式與超高分辨率物鏡相結(jié)合
- 具有多個(gè) SE 及 BSE 探測(cè)器的探測(cè)系統(tǒng)
- TriSE™+ TriBE™
- Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率:1 nm (1 kV ), 0.7 nm (15 kV )
- EquiPower™ 進(jìn)一步提高電子束的穩(wěn)定性
- 電子束流高達(dá) 400nA,并能實(shí)現(xiàn)電子束能量的快速改變
- 優(yōu)化的鏡筒幾何設(shè)計(jì)大可容納 8” 晶圓
極其強(qiáng)大的 Xe 等離子源 FIB 鏡筒
高電子回旋共振(High-ECR)產(chǎn)生的 Xe 等離子源 FIB 鏡筒,可完成 Ga 離子源 FIB 在納米工程領(lǐng)域不能完成的任務(wù)
- 濺射速率比 Ga 液態(tài)金屬離子源快 50 倍
- 離子束流范圍:1 pA ~ 2 µA;分辨率:<25 nm
- 新研發(fā)的高分辨率 Xe 等離子體 FIB 鏡筒(選配),分辨率優(yōu)于< 15 nm,進(jìn)一步增強(qiáng)刻蝕能力
- 大重量的 Xe 等離子具備更大的 FIB 電流范圍,在無(wú)氣體輔助增強(qiáng)的條件下也可實(shí)現(xiàn)超快濺射
- 相較于 Ga 液態(tài)金屬離子源,離子注入效應(yīng)顯著減少
- Xe 惰性氣體原子不會(huì)改變圖樣區(qū)域附近的電學(xué)性能
- 銑削過(guò)程中無(wú)金屬間化合物形成