ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀是一種全功能氦質(zhì)譜檢漏儀，與我廠生產(chǎn)的擴(kuò)散泵型儀器相比，采用了德國萊寶的渦輪分子泵作儀器的高真空機(jī)組，優(yōu)化了真空系統(tǒng)及控制閥門的設(shè)計(jì)，顯示部分采用了嵌入式工控計(jì)算機(jī)，微機(jī)系統(tǒng)控制。適用于生產(chǎn)線上對大批量零件的檢漏（噴氦法或背壓法），也可用吸槍作吸氦法檢漏。

     
ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點(diǎn)：
1.1 微機(jī)系統(tǒng)控制，人機(jī)對話方式操作
1.2 7英寸觸摸式液晶顯示屏，大字符漏率顯示，
    漏率直讀，四種常用漏率單位轉(zhuǎn)換
1.3 自動(dòng)掃描氦峰，具有圖形顯示和保存功能
1.4 動(dòng)態(tài)清除本底
1.5 檢漏過程曲線顯示
1.6 檢漏數(shù)據(jù)保存功能
1.7 聲訊報(bào)警，報(bào)警點(diǎn)可程序設(shè)置
1.8 自帶一套輔助系統(tǒng)，可作噴氦法、吸氦法和背壓法檢漏
1.9 進(jìn)口渦輪分子泵

要技術(shù)參數(shù)：
2．1 儀器小可檢漏率：優(yōu)于 5×10^-12Pa·m³／s
2．2 儀器的反應(yīng)時(shí)間：不大于3s
2．3 儀器質(zhì)譜室允許工作的高壓強(qiáng)：1×10^-2 Pa 
2．4 儀器測試口允許工作的高壓強(qiáng)：1000Pa
2．5 被檢件由粗抽至檢漏的自動(dòng)切換點(diǎn)（檢漏點(diǎn)）可調(diào)范圍：40～10^-1Pa
  
主要部件配置：
3．1 渦輪分子泵     國產(chǎn)       1臺(tái)
3．2 前級泵       國產(chǎn)       1臺(tái)
3．3 粗抽泵       國產(chǎn)       1臺(tái)
3．4 質(zhì)譜分析室  成都儀器廠  1套
3．5 校準(zhǔn)漏孔（帶檢定證書）   1支