MSA-600顯微激光測振儀，集多種測量功能于一體，其不僅能測量面內振動和面外振動，還能測量表面形貌。系統(tǒng)具有*的靈活性和精度，以滿足顯微結構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產品產量。

MSA-600顯微激光測振儀是用于分析和可視化微結構（如MEMS）中的結構振動和表面形貌的測量工具。通過將顯微鏡與掃描激光多普勒振動測量儀，頻閃視頻顯微鏡和掃描白光干涉儀*集成，微系統(tǒng)分析儀采用一體化技術組合，可以明確真實的微觀結構響應和地形。

系統(tǒng)：

光學單元

MSA光學單元提供六種配置，允許單獨或組合的平面內測量，平面外測量或地形測量。根據(jù)系統(tǒng)類型，光學單元包括帶有顯微鏡光學系統(tǒng)的頭部以及單點或差分光纖干涉儀。在所有配置中，傳感器頭都具有優(yōu)化的顯微鏡光學系統(tǒng)，集成的LED照明單元和逐行掃描視頻攝像機，可為數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)提供實時視頻流。

處理單元  

處理單元包括帶有MSA軟件的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，接線盒，以及包括振動測量的系統(tǒng)配置，振動計控制器。

軟件

該軟件包括用于數(shù)據(jù)采集和評估的不同程序：

•掃描Vibrometer軟件進行平面外測量，可提供快速簡便的設置，簡單的數(shù)據(jù)采集和出色的3D數(shù)據(jù)可視化。

•平面運動分析軟件類似地控制平面內測量過程并提供動態(tài)可視化。

•地形測量系統(tǒng)用于數(shù)據(jù)采集，分析，2D和3D數(shù)據(jù)表示的軟件，包括剖面切割。

配置

微系統(tǒng)分析儀可配置為涵蓋表征微結構所需的許多操作模式和測量范圍。下表有助于將適當?shù)南到y(tǒng)與應用程序相匹配。我們提供單任務或組合測量的系統(tǒng)。對于平面外振動測量，系統(tǒng)可配置為單光束或差分操作。差分系統(tǒng)可以執(zhí)行單光束和差分測量。除標準1.5 MHz版本外，還有一個24 MHz選項，包括高頻數(shù)據(jù)采集和高頻波形發(fā)生器。