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ETSys-InLine 在線橢偏測量系統

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線橢偏測量系

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光譜橢偏儀,激光橢偏儀,在線橢偏儀,

產地類別 國產

ETSys-InLine 在線橢偏測量系統是根據鍍膜機在線高精度測量要求,專門研發的橢偏測量系統,在此系統中,橢偏測量部件與鍍膜機集成為一體。

ETSys-InLine 在線橢偏測量系統可用于真空熱蒸發鍍膜機、離子濺射鍍膜機、原子層沉積鍍膜機等多種原理的鍍膜機。可在線測量光滑平面基底上的納米薄膜,包括單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;并可測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。 

ETSys-InLine 融合量拓科技在高精度激光橢偏儀的*設計技術和橢偏產品制造方面的經驗,性能穩定、可靠。

特點:

  • 快速在線鍍膜樣品測量

    可對樣品進行快速在線監測,實時反饋鍍膜的真實信息。

  • 系統可選的靈活配置

    根據用戶實際檢測需求,可靈活選用激光橢偏儀、光譜橢偏儀部件等進行系統配置。

  • 原子層量級的膜厚分析精度

    采用非接觸、無破壞性的橢偏測量技術,對納米薄膜達到*的測量準確度和靈敏度,膜厚測量靈敏度可達到0.05nm。



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