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VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機(jī)
- 公司名稱 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/5/16 16:04:19
- 訪問(wèn)次數(shù) 749
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)品名稱 | VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機(jī) |
主要特點(diǎn) | 1、全柜式集成結(jié)構(gòu),工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì) 2、大適合8寸晶圓,向下兼容,基片工裝方便更換 3、XYZ三軸電缸設(shè)計(jì),噴頭高度程序可設(shè)置 4、轉(zhuǎn)盤加熱旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),工作區(qū)高熱均勻性 5、微量平流系統(tǒng),流速平穩(wěn),流量精確可調(diào) 6、采用超聲噴霧系統(tǒng),霧化顆粒均勻,功率可調(diào) 7、帶基片吸附和電動(dòng)頂針功能,方便上下片和計(jì)時(shí)功能 8、帶膠液監(jiān)測(cè)功能,頂部抽風(fēng),保證工業(yè)生產(chǎn)需要 9、七寸全彩觸屏操作,手動(dòng)調(diào)試和自動(dòng)運(yùn)行兩種操作模式 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC220V,50HZ,1.5KW 2、工作環(huán)境:濕度:20-90%,溫度20-30℃ 3、處理Wafer尺寸:200mm以下,向下兼容 4、熱盤溫度控制:室溫至200℃,控溫精度±0.5℃,工作區(qū)溫度均勻性 小于±1% 5、基片頂升系統(tǒng):頂升高度0-15mm,高度分辨率0.1mm 膠液流速范圍 1-20ml/min可調(diào) 6、熱盤電機(jī)額定轉(zhuǎn)速:1000rpm 7、XY電缸移動(dòng)大速度:X軸200mm/s,Y軸200mm/s 8、XY電缸有效行程:300mm×300mm 9、超聲波霧化粒徑:30-50μm 10、操作系統(tǒng):人機(jī)互動(dòng)界面,PLC控制 11、噴嘴移動(dòng)方式:電動(dòng)機(jī)械組合XYZ三軸電缸 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、機(jī)器尺寸:1000mm×880mm×1800mm (長(zhǎng)×寬×高) 2、重量:55Kg |