三維云紋干涉儀是由云紋干涉光路和泰曼/格林干涉光路組合而成；將高靈敏度正交型光柵復制在試件的表面，并置于光路系統中，經調試后可分別獲得兩個面內位移場（U和V）和離面位移場（W）；激光是由單模光纖及耦合器分解和傳輸到光路系統中的；光路中置有PZT壓電晶體，通過驅動電源控制和驅動壓電晶體和反射鏡來實現相移技術，相移技術可以使測量靈敏度提高一個量級，儀器還附有加載系統及調節座；配以高溫爐可進行熱變形測量。

三維云紋干涉儀主要技術指標：

1、位移靈敏度：  面內u & v 場： 417nm (1200 線/mm)，

                             離面 w場： 266nm (l/2)

2、相移靈敏度:   ∽20nm/V

3、光場尺寸：    35×35mm

4、測試范圍：    ≤20×20mm

5、條紋分辨率：  優于1/20級條紋

6、測量應變范圍：10me~5%e

7、激光器：      單縱膜，20 mw， λ=532nm 

8、圖像采集：    CMOS攝像頭，分辨率 1280 x 1024，USB接口

9、加載系統：    拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式

主要配置：

1、  主機

2、  20mW半導體激光器：1個

3、  TS-1000USB攝像頭（內置）：1只

4、  相移器：1個

5、  光纖：3根

6、  光纖耦合器：1套

7、  1200mm×800mm自動平衡隔振平臺：1套

8、  品牌液晶臺式電腦：1套(雙核處理器;2GB內存;320GB硬盤;19寸寬屏液晶顯示屏)

9、  拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式：1套

10、軟件：1套

其他附件：

1、高溫恒溫箱

簡介：為配合高溫（≤300^oC ）條件下的熱變形的非接觸光學測量，高溫恒溫箱配有可供觀察和測量的石英玻璃窗口。為不影響光學測量的精度，該玻璃是精密加工的。恒溫箱的溫度的穩定性由控制器控制。恒溫箱固定在五維調節座上，可實現滿足光路要求的精準調節。

 溫度：≤300^oC, 靈敏度：±1^oC

窗口玻璃：平面度：1/2光圈，耐高溫石英玻璃

2、全息云紋光柵                 

簡介:用全息干涉系統和光刻技術值成的云紋光柵主要用于云紋干涉法變形測量。該光柵可以方便地轉移到試件的表面，將復制有試件柵的試件置于云紋干涉光路系統中可以獲得反映位移場的云紋干涉條紋。該光柵通常為正交型光柵，以獲得二維面內位移場。全息干涉光路中采用了旋轉光源，因而有效地消除了散斑噪聲，提高了衍射效率。圖H-1所示為光柵在白光下的衍射彩色圖像；圖H-2所示為光柵在云紋干涉光路中的零場條紋圖。

性能和參數：光柵頻率：1200 或600 lines/mm (0．05%)

性能和參數：光柵頻率：1200 或600 lines/mm (0．05%)

正交性：        π/2±0.5x10^-4

衍射效率：      大于入射光強的10%

光柵面積：      50×50mm( 2×2in)

基底尺寸：      63×63mm(2.5×2.5in)      

基底材料：      普通玻璃或超低膨脹率石英玻璃 (ULE)

零場：          ≤1級條紋

光柵材料：      光刻膠鍍鋁膜