系統(tǒng)構(gòu)成

    本系統(tǒng)主要由以下部分組成：

    五組份動態(tài)配氣系統(tǒng)(標(biāo)配)

    計算機(或者觸摸屏)與操作軟件(標(biāo)配)

 系統(tǒng)各部分組成如下：

    五組份動態(tài)配氣系統(tǒng)

    該系統(tǒng)運用目前上*的測量和控制技術(shù)，設(shè)備穩(wěn)定可靠，配制精度高。全自動化控制，操作簡單可靠。設(shè)備集成在一個機箱內(nèi)。外觀簡潔，美觀。主要設(shè)備包括：質(zhì)量流量控制器，單向閥，截止閥，氣體混合管路等。

    該系統(tǒng)配置5路質(zhì)量流量控制器，可實現(xiàn)2∽5個組份氣體混合配比。

    系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫內(nèi)有多達四五十種氣體，使用時通過計算機直接調(diào)取選擇。

    混合氣體大流量：≈ 2L/min。

    配氣通道：5路

 主要技術(shù)參數(shù)

    氣體質(zhì)量流量控制器（美國*）

   Range1：0.0～1000ml/min               

   Range2：0.0～500ml/min

   Range3：0.0～500ml/min             

   Range4：0.0～100ml/min

   Range5：0.0～50ml/min

   大輸出流量≦2000ml/min

   精確度：± 1%FS

   響應(yīng)時間：1～2seconds

   重復(fù)性：< ±0.2% Rd

   量程比：1:50（數(shù)字模式為：1:187.5）

   泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

   電源：＋15～24VDC@320mA

   使用溫度：-10～70 ℃

   輸出：4～20mA and RS-232

   氣路

   整個系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內(nèi)表面光滑

   計算機及系統(tǒng)軟件

   1)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏或者計算機操作,計算機需要另選配氣軟件。

   2)五組份配氣軟件

   配氣系統(tǒng)根據(jù)要求，可以設(shè)置鋼瓶和對應(yīng)的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計算，氣體質(zhì)量流量控制器自動調(diào)節(jié)控制氣體流量，以實現(xiàn)氣體配比濃度要求。