系統構成

   本系統主要由以下部分組成：

   四組份動態配氣系統(標配)

   計算機(或者觸摸屏)與操作軟件(標配)

系統各部分組成如下：

   四組份動態配氣系統

   該系統運用目前上*的測量和控制技術，設備穩定可靠，配制精度高。全自動化控制，操作簡單可靠。設備集成在一個機箱內。外觀簡潔，美觀。主要設備包括：質量流量控制器，單向閥，截止閥，氣體混合管路等。

   該系統配置4路質量流量控制器，可實現2∽4個組份氣體混合配比。

   系統數據庫內有多達四五十種氣體，使用時通過計算機直接調取選擇。

   混合氣體大流量：≈ 2L/min。

   配氣通道：4路

主要技術參數

   氣體質量流量控制器（美國*）

  Range1：0.0～1000ml/min                    

  Range2：0.0～500ml/min 

  Range3：0.0～500ml/min                  

  Range4：0.0～100ml/min

  大輸出流量≦2000ml/min

  精確度：± 1%FS

  響應時間：1～2seconds

  重復性：< ±0.2% Rd

  量程比：1:50（數字模式為：1:187.5）

  泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

  電源：＋15～24VDC@320mA

  使用溫度：-10～70 ℃

  輸出：4～20mA and RS-232

  氣路

  整個系統氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內表面光滑

  計算機及系統軟件

  1)配氣系統通過觸摸屏或者計算機操作,計算機需要另選配氣軟件。

  2)四組份配氣軟件

  配氣系統根據要求，可以設置鋼瓶和對應的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計算，氣體質量流量控制器自動調節控制氣體流量，以實現氣體配比濃度要求。