STP1003 STP1003C 英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
參考價 | ¥ 220000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 昆山熙日機械設(shè)備有限公司
- 品牌 Edwards/英國愛德華
- 型號 STP1003 STP1003C
- 產(chǎn)地 英國
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2019/4/21 11:16:44
- 訪問次數(shù) 2020
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泵軸位置 | 其他 | 抽氣速率 | 1000l/s |
---|---|---|---|
極限壓力 | 10-7pa | 輸送介質(zhì) | 其他 |
葉輪數(shù)目 | 其他 | 重量 | 31kg |
英國愛德華STP1003 、STP1003C DN200CF 進氣口
概述
Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于良好的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
應(yīng)用
- 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源,射束線泵送端點站
- MBE
- 擴散
- 光致抗蝕劑脫模
- 晶體/晶膜生長
- 晶片檢查
- 負載鎖真空腔
- 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
- 高能物理:射束線、加速器
- 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)
大的制程靈活性
無油
低振動
高度可靠
免維護
可用于嚴(yán)苛制程(C 型)
使用壽命延長
良好的控制器設(shè)計
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機驅(qū)動
無電池運行
緊湊型設(shè)計
占地面積小
半機架控制器英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭 ISO200F 出口 KF40 吹掃口 KF10 抽速 N2 1000 ls-1 H2 800 ls-1 壓縮比 N2 >108 H2 >105 加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭) 10-7 Pa (10-9 Torr) 加熱時的極限壓力(ICF 法蘭) 10-8 Pa (10-10 Torr) 大連續(xù)出口壓力 13 Pa (0.1 Torr) 額定速度 35000 rpm 啟動時間 6 分鐘 高入口法蘭溫度 120 °C 輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或 至 240 (± 10) V 交流 啟動時的功耗 0.8 kVA 泵重量 31 kg 控制器重量 9 kg
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