賽可臺式掃描電子顯微鏡主要技術參數：

一、技術參數

1、分辨率：5nm (30kV, SE Image)

2、放大倍率：14x~100,000x

3、加速電壓 :

1kV to 30kV (5 kV/10 kV/15kV/20kV/30 kV-6 step)

二、圖像

1、二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image

2、觀測模式 : 標準模式

三、電子槍系統

1、燈絲類型：預對中鎢燈絲

2、偏壓系統：自動偏壓方式

3、 電子槍校正：手動方式

四、賽可臺式掃描電子顯微鏡透鏡構成

1、聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡

2、物鏡 : 1段式磁線圈透鏡

五、探測器類型

E-T Detector

六、載物臺系統

1、5軸操控

2、- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360° - Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°

3、Image shift: X, Y Image Shift 150?（±75?）

4、樣品大尺寸 :

80mm in diameter, 35mm in height

七、圖像掃描速度

1、快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2、低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3、圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4、圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

八、自動功能

1、自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節

2、智能軟件系統，圖像自清晰功能

3、自動可調式對焦，*校準系統

九、圖像存儲方式

1、 BMP, JPEG, PNG

十、數據顯示

1、 放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，文本，標尺等

十一、：簡單易用的導航模式，可視化操作窗口