臺式掃描電子顯微鏡主要技術參數：

1.分辨率：15nm (30kV, SE Image)

                 20nm (30kV, BSE Image)

2.放大倍率：20x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

3.加速電壓 ：1kV to 30kV (1/5/10/15/20/30Kv-6 step)

4.觀察圖像：

二次電子圖像

背散射電子圖像(COMPO,TOPO)

二次電子和背散射電子雙重像

二次電子和背散射電子合成像

5.觀察模式: 標準觀察模式及BSE+低真空觀察模式

6.電子槍系統:

燈絲類型：預對中鎢燈絲，帶韋氏帽

偏壓系統：自動偏壓方式

電子槍手動校正

7.臺式掃描電子顯微鏡透鏡構成

聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡

物鏡 : 1段式磁線圈透鏡

8.探測器類型

E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)

9.載物臺系統：3軸操控

載物臺移動范圍：X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

10.圖像光斑調整大進程: X, Y Image Shift 150?（±75）

11.樣品大尺寸 :

70mm*70mm* 30mm

12.圖像掃描速度

快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3(Photo Mode 3): 5120x1920 (Scan time: 120sec.)

13.自動功能

自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節

14.圖像存儲方式

BMP, JPEG, PNG

15.數據顯示

 放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，文本，標尺等