AC200程控伺服型精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。

兩種型號可選：AC200-SE（標準型）、AC200-PE（型）

特點：

內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。

7寸觸屏控制面板操作系統，更方便操作。

“密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。

標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。

采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，不生銹，便于清洗。

排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。

透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

主要性能指標：AC200程控伺服型精密勻膠機

主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

內腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）

旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

馬達旋涂轉速穩定性能誤差 ：小于±1rpm（AC200-SE）；小于±0.1rpm（AC200-PE）

轉速調節精度及重復性： 1rpm（AC200-SE）;   0.1rpm（AC200-PE）

AC200-PE另帶真空數字顯示、開關壓力調節和電子水平顯示功能

工藝時間設定： 0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec

支持尺寸：碎片至200mm（8”圓晶）

旋涂作業均勻性：小于; ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

產品外型尺寸：433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構

306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構(適于嵌入式手套箱或工作臺內)