Hyper MF/MF-U高精度測量顯微鏡
- 公司名稱 北京創(chuàng)誠致佳科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2019/1/8 16:01:16
- 訪問次數(shù) 497
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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Hyper MF/MF-U高精度測量顯微鏡
產(chǎn)品特點
• 實現(xiàn)了高精度的測量顯微鏡。(小顯示分辨力0.01um)。
• 主機的前臺操作設(shè)計是基于UD(通用化設(shè)計)的理念。
• 配備三軸電動前置控制手柄,這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了全新的變化,即使在快速運動的過程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。
• 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學(xué)管路或帶內(nèi)置激光自動對焦功能的光學(xué)管路,其觀察方法多種多樣,提高了測量工作的效率。
• 行程為250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。
• 的數(shù)據(jù)處理裝置QM-Data200 和VisionUnit 可結(jié)合使用,提供有效且穩(wěn)定的測量環(huán)
境。
• 晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能,該功能在更換物鏡時啟動工作。
技術(shù)參數(shù)
型號 | HyperMF-B2515B | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B | HyperMF-UE2515B | HyperMF-UF2515B |
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光路 | 有限校正光學(xué)系統(tǒng) — | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮視場) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BD(亮/暗視場) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮視場)帶LAF功能 | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮/暗視場)帶LAF功能 |
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標(biāo)準(zhǔn)分劃板(內(nèi)置) | 90º點劃線十字線(線寬5μm) |
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可調(diào)瞳距 | 西登托夫型調(diào)節(jié)范圍:51-76mm |
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光路切換比 | 觀察/TV顯微攝影=50/50 |
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垂直傾斜角度 | 25° | 傾斜 |
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TV端口 | 作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供 |
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觀察圖像 | 正像 |
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目鏡 | 放大倍率 | 10X, 15X, 20X |
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物鏡 (可選) |
| 可選單筒目鏡(配有一個目鏡) 或雙筒目鏡(配有兩個目鏡) | 配備兩個10X目鏡 |
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ML系列物鏡 | 1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X | - |
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BF(亮視場) | - | M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo |
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BD(亮/暗視場) | - | BD Plan Apo, BD Plan Apo SL |
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轉(zhuǎn)塔 (可選) | BF(亮視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器) |
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BD(亮/暗視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器) |
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聚焦部分 | 大工件高度 | 150mm |
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測量精度 | (1.5+0.01L) μm L:測量長度(mm) |
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驅(qū)動方式 | 使用控制手柄進(jìn)行電動控制 |
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照明裝置 | 透射照明裝置 | 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,鹵素?zé)襞?/span>(12V,50W),100級光強度可調(diào),光纖冷光照明 |
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反射照明裝置 | 科勒照明,可變孔徑光闌機制,鹵素?zé)襞?/span>(12V,100W),100級光強度可調(diào),光纖冷光照明 |
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工作臺 | 測量范圍(X*Y) | 250×150mm |
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測量精度 (X和Y軸無負(fù)載) | (0.9+0.003L) μm L:測量長度(mm) |
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工作臺尺寸 | 460×350mm |
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載物玻璃有效尺寸 | 300×200mm |
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旋轉(zhuǎn)角度 | ±3º |
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大承重 | 30kg |
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驅(qū)動方式 | 使用手柄進(jìn)行電動控制 |
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檢測器 | 高精度光柵尺 |
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數(shù)顯 | 分辨力 | 0.01μm |
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顯示軸 | X, Y, Z |
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數(shù)據(jù)處理裝置 | QM-DATA200或Vision Unit |
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操作部分 | 手柄急停按鈕 | 可用 |
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精細(xì)間距 | 可用 |
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數(shù)據(jù)輸出 | 可用 |
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數(shù)字顯示復(fù)位 | 可用 |
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照明光強度控制 | 可用 |
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LAF(只對焦) | - | - | 可用 |
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LAF(跟蹤對焦) | - | - | 可用 |
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轉(zhuǎn)塔控制 | - | 可用 (安裝電動轉(zhuǎn)塔時) |
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更換燈泡時,鹵素 燈泡用于透射照明 | 標(biāo)準(zhǔn):02APA527(12V50W) |
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更換燈泡時,鹵素?zé)?/span> 泡用于反射照明 | 標(biāo)準(zhǔn):517181(12V100W) |
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高亮度:12BAD602(12V100W) |