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真空腔體水氣解吸附組件2

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 科睿設備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/12/9 21:26:31
  • 訪問次數 1259
產品標簽

真空腔體水氣

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科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質』、『服務』、『創新』的企業文化,為廣大中國用戶提供儀器、設備,周到的技術、服務和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發展的中國,納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發、有機高分子合成等等領域,都需要與歐美發達國家*接軌的儀器設備平臺來實現。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港,在中國上海設立了分公司,在國內多個城市設立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產品和服務。2010年,科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務,我們擁有專業的應用維修人員,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應,72小時內趕到現場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務!
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據用戶的要求配制和提供了上百套系統,主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導體所,中科院大連化學物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學,清華大學,中國科技大學,南京大學,復旦大學,上海交通大學,華東理工大學,浙江大學,中山大學,西安交通大學,四川大學,中國工程物理研究院,香港大學,香港城市大學,香港中文大學,香港科技大學等。



光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發鍍膜儀,開爾文探針系統(功函數測量),氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(PECVD),原子層沉積系統(ALD),快速退火爐,氣溶膠發生器,稀釋器,濾料測試系統

產地類別 進口 應用領域 能源,電子,電氣

真空腔體水氣解吸附組件2

儀器簡介:

ZCUVE代表了水蒸氣解吸技術的新進展。*的設計可從2.75“擴展到8”法蘭尺寸,比例更高的紫外線功率因數和更大的法蘭尺寸。

ZCUVE的設計是為了解吸大型沉積室中的水,在這種情況下,真空室內不可能有暴露的紫外線發射器。標準的現成百葉窗可以用來防止ZCUVE在沉積過程中被涂層。

該工藝適用于o型環(Viton)密封真空室,沒有任何其他烘烤方式,也適用于較小尺寸的負載鎖。
技術參數:

真空腔體水氣解吸附組件2

型號法蘭口徑
Z2752.75" / 40 CF
Z4504.5" / 63 CF
Z6006.0” / 100 CF
Z8008.0” / 160 CF

一個外部組件容納紫外線發射器,它位于高紫外線傳輸,超高真空窗口后面。發射器背面的鏡子進一步改善了185納米紫外線通過窗戶進入真空室的傳輸。ZCUVE外殼用惰性氣體回填,以防止外殼內產生臭氧。最后,發射極引線通過MHV高壓連接器連接到控制裝置。

真空腔體水氣解吸附組件2

真空腔體水氣解吸附組件2

ZCUVE - Shutter Closed

ZCUVE - Shutter Open

利用UVC輻射解吸水蒸氣的優點是產生的熱量很少。更少的熱量意味著對機械零件和樣品的損壞更少。

另一個優點是,UVC不需要一個直接的位置線來解吸水蒸氣。它不能進入角落和縫隙,但它能反射出拋光表面(如室壁),每次“反彈”損失50%至70%。

主要特點:

UVB-100

真空腔體水氣解吸附組件2The UVB-100 uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter extends into the vacuum chamber.


ZCUVE

真空腔體水氣解吸附組件2The ZCUVE (Zero Clearance UV Emitter Water Vapor Desorption System) uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter resides outside the vacuum chamber.

注:這些水蒸氣解吸產品設計用于高真空系統、大真空、腔室和負載鎖。它們不是為了取代超高真空系統中的輻射烘烤方法而設計的,而是與超高真空兼容的





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