TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統

LaserTable-Base對現有光學平臺的振動隔離技術進行了ji大改shan。通常，光學平臺是由低頻氣動隔振系統支撐。雖然對于高頻的隔離非常有xiao，但是實際上被動系統在1-3H乙范圍內會放大振動。

TMC的STACIS技術通過將壓電陶瓷制動器和慣性振動傳感器結合的zhuan利技術來消chu而不是放大低頻振動，成功地克服了這些局限。LaserTable-Base綜合了氣浮和STACIS這兩種技術組成一個完整的振動消chu系統。由于兩種隔離系統的串聯，使此技術的振動隔離范圍從非常低的頻率到非常高的高頻。

LaserTable-Base頂部的氣浮部分是模塊化的、可替換的。它可以是TMC的Gimbal PistonTM氣浮隔振支腿，或者MaxDampB氣浮隔離支腿，甚至可以是剛性支腿，這取決于實際應用的需求。

特點

• 采用STACIS專li技術

• 主動式壓電陶瓷內部振動消chu系統從低于1Hz開始隔離振動

• 擴展行程的壓電致動器，*高達60微米6個隔振自由度

• 為達到*大振動消chu，串聯2個隔離系統采用MaxDamp空氣隔離zhuan利技術操作簡單，性能穩健，性價比高

• 桌子下有可用于放置設備的可選貨架包含TMC的DC-2020數字控制器

模擬VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振動測試，負載為2000磅(907 kg)

將低頻被動MaxDampQ氣浮隔振系統與壓電陶瓷主動隔振系統串聯，得到垂直和水平方向兩個單獨的隔振性能曲線。

由此產生的隔振性能對比明顯，以至于在某些頻率范圍內，我們受到測量儀器噪聲地板的限制，無法測量和演示完整的隔離性能。也就是說，在10-12 Hz以上，組合系統的實際性能有望超過理論隔振性能曲線，因為組合隔離理論上是兩個子系統提供的隔離能力的總和。

TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統

應用案例

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激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設備與系統等等

探測器：光電探測器、單光子計數器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統等等

定位與加工：納米定位系統、微納運動系統、多維位移臺、旋轉臺、微型操作器等等

光源：半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機械件：用于光路系統搭建的 gao 品 zhi 無應力光機械件，如光學調整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學平臺：主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學y件：各類晶體、光纖、偏轉鏡、反射鏡、tou射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發光染料、吸收染料等等